應用於三維積體電路之鰭式電晶體與非揮發性記憶體的研究_

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研究生:

葉沐詩

研究生(外文):

Yeh, Mu Shih

論文名稱:

應用於三維積體電路之鰭式電晶體與非揮發性記憶體的研究

論文名稱(外文):

3D IC Applicable Fin Field Effect Transistor and Nonvolatile Memory

指導教授:

吳永俊

指導教授(外文):

Wu, Yung Chun

學位類別:

博士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

工程與系統科學系

學門:

工程學門

學類:

核子工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2015

畢業學年度:

103

語文別:

英文

論文頁數:

156

中文關鍵詞:

三維積體電路、鰭式電晶體、非揮發性記憶體

外文關鍵詞:

3D IC、Fin Field Effect Transistor、Nonvolatile Memory

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