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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:王韻雯
研究生(外文):Wang, Yun Wen
論文名稱:消色差干涉微影技術應用於製作大面積曝光之研究
論文名稱(外文):Study of Achromatic Interference Lithography Technology Used in Large-Area Lithography
指導教授:傅建中傅建中引用關係
指導教授(外文):Fu, Chien Chung
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:奈米工程與微系統研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2015
畢業學年度:103
語文別:中文
論文頁數:56
中文關鍵詞:雷射干涉微影消色差干涉微影相位光柵奈米級圖案化藍寶石基板多次曝光干涉微影
外文關鍵詞:Laser Interference LithographyAchromatic Interference LithographyPhase GratingNano-Patterned Sapphire SubstrateMulti-Exposure Interference Lithography
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