隨著現今的科技快速發展下，表面電漿共振（Surface Plasmon Resonance SPR）光纖感測器被廣泛的應用在各類生物與化學的測量及感測上，而且表面電漿共振光纖感測器擁有可再生性,及及時測量的能力與動態變化的優點，加上光纖本身體積很小、重量輕，又具備可彎曲性,製作出來的表面電漿共振光纖感測器具備很微小的感測區，所以適用於體積小的樣本的量測。
在本論文中，以濺鍍黃金於側拋式表面電漿共振（Surface Plasmon Resonance SPR）光纖感測器為基礎，進而探討如果採用其他濺鍍物，是否可以達到與濺鍍黃金所得到的SPR效果相同或是接近。表面電漿共振光纖感測器所具備諸多優點，不論在體積、重量、應用範圍上，都是非常優良的，但是一般濺鍍黃金於表面電漿共振光纖感測器是使用黃金作為濺鍍的材料，黃金的價格是所有濺鍍靶材中最貴的，因此如果是要製作以濺鍍黃金的表面電漿共振光纖感測器，缺點是它的靶材消耗費用比較高，而鋁的價格相對低，所以想以鋁作為濺鍍的材料來嘗試製作出與其相同的效果或是可接受範圍能夠使用的表面電漿共振（Surface Plasmon Resonance SPR）光纖感測器，藉此研究降低製作表面電漿共振光纖感測器的製作成本。

With the rapid development of modern science and technology, the surface plasma resonance (Surface Plasmon Resonance SPR) optical fiber sensors are widely used in various types of measurement and sensing of biological and chemical, and surface plasma resonance sensor has an optical fiber renewable, and advantages of the ability to timely and dynamic measurements, plus fiber itself small size, light weight, but also with bendable, produced surface plasma resonance fiber optic sensors have very small sensing area , it is suitable for small sample volume measurement.
In this paper, by sputtering gold on the side throwing Surface plasma resonance (Surface Plasmon Resonance SPR) based fiber optic sensors, then explore if other sputtering material, can be achieved with the resultant sputtering gold SPR or close to the same effect. Surface plasma resonance fiber optic sensors possess many advantages, both in size, weight, range of applications, are very good, but generally sputtered gold surface plasma resonance fiber optic sensor is the use of gold as a sputtering materials, the price of gold is the most expensive of all sputtering target, so if it is to make gold by sputtering surface plasma resonance fiber optic sensor, a disadvantage is that it is the target consumption cost is relatively high, while the price of aluminum relatively low, so I want to sputter aluminum as a material to try to produce the same effect, or its surface plasma resonance (surface Plasmon resonance SPR) acceptable range of fiber optic sensors can be used, thereby reducing the production of surface potential study plasma resonance production cost of optical fiber sensors.

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英文摘要 ii
目次 iv
圖目錄 ⅵ
第一章 緒論 1
1.1前言 1
1.2研究動機 1
第二章 3
2.1表面電漿共振原理 3
2.2多模光纖與單模光纖大致差異 4
2.3光纖的原理 5
2.3.1光纖的結構和分類 5
2.3.2光纖的應用 5
2.3.3光纖的分類 6
2.3.4多模光纖 6
2.3.5單模光纖 7
2.3.6光纖材質 7
2.4何謂薄膜沉積 7
第三章 9
3.1製作側拋研磨光纖步驟 9
3.2製作側拋研磨光纖注意事項 16
3.3矽晶片與載玻片震洗製程 23
3.3.1目的 23
3.3.2震洗所需材料 24
3.3.3震洗步驟 24
3.3.4所使用化學物質作用 29
3.3.5所使用化學物質可能造成的危害 29
3.3.6避免辦法 30
3.4濺鍍實驗步驟 30
3.5量測系統 34
3.5.1鹵素燈 35
3.5.2頻譜分析儀 36
3.7濺鍍後SPR測試 37
第四章 39
4.1本實驗使用之靶材 39
4.2濺鍍鋁測試樣本 40
4.2.1濺鍍鋁實驗步驟 40
4.3濺鍍鋁SPR相關測試 43
4.4濺鍍鋁完成品圖片 45
4.4.1濺鍍金屬成長速率參考圖 46
4.5結果與討論 47
4.5.1濺鍍成功與失敗對照圖 48
4.5.2濺鍍成功與失敗對照圖 48
4.5.3不同參數設定的測試結果圖 49
4.5.4相關實驗樣本圖 49
第五章 結論與未來展望 50
參考文獻 52

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[2]許沁威,，蔡五湖,，利用金奈米粒子改善SPR光纖感測器靈敏度之研究THE STUDY OF USING GOLD NANOPARTICLES TO IMPROVE THE SENSITIVITY OF SPR FIBER SENSORS, Thesis for Master of Science Institute of Electro-Optical Engineering Tatung University July 2011
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[4]何秉璟，蔡五湖，含摻鋁氧化鋅薄膜表面電漿共振光纖 感測器之研究，THE STUDY OF SURFACE PLASMON RESONANCE SENSOR WITH AZO THIN FILM
[5]https://read01.com/7JRQJ8.html光纖的分類多模光纖和單模光纖的區別
[6]http://benevo.pixnet.net/blog/post/45152089-%E5%A4%9A%E6%A8%A1%E5%85%89%E7%BA%96%E8%88%87%E5%96%AE%E6%A8%A1%E5%85%89%E7%BA%96%E4%B9%8B%E8%AA%AA%E6%98%8E多模光纖與單模光纖、相關介面說明
[7]http://www.me.tnu.edu.tw/~me022/lab/bau.htm
[8]慧光展業官方網站http://www.sunbox.com.tw/technique_content.php?id=39
[9]https://www.google.com.tw/search?q=%E6%BF%BA%E9%8D%8D%E9%87%91%E5%85%89%E7%BA%96%E7%A4%BA%E6%84%8F%E5%9C%96&biw=1366&bih=667&source=lnms&tbm=isch&sa=X&ved=0ahUKEwjS5vD_0e3NAhUCJZQKHW-lAIYQ_AUIBigB#imgrc=Lb_sOuWAisqvzM%3A
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[11]http://www.dualsignal.com.tw/2412029992339763770926448260093328728666377093689529575214433277134920.html