臺灣博碩士論文加值系統

本研究利用化學浴(Chemical Bath Deposition, CBD)製程取代電漿濺鍍(Sputtering)製程，製作硫化鋅(Zinc Sulfide, ZnS)薄膜，將其應用在銅鋅錫硫(Copper-Zinc-Tin-Sulfur, CZTS)電池上，探討不同CBD製程參數與ZnS薄膜厚度對於CZTS電池效率影響，並以各項儀器進行分析與討論。
研究發現透過ZnS化學浴製程與AZO薄膜優化製程，已可使CZTS電池轉換效率達2.15%。

目錄 6
圖目錄 7
表目錄 9
致 謝 3
中文摘要 4
Abstract 5
第一章、緒論 10
1.1前言 10
1.2太陽能電池發展 10
1.3文獻回顧 14
1.4研究目的 23
第二章、理論 24
2.1薄膜太陽能電池發電機制 24
2.2轉換效率與填充因子 25
2.3 CZTS太陽能電池各層薄膜功能及特性 27
2.3.1鈉玻璃基板 (Soda-Lime Glass Substrate) 27
2.3.2鉬背電極(Molybdenum Back Electrode) 28
2.3.3銅鋅錫硫吸收層(CZTS Absorber Layer) 28
2.3.4硫化鋅緩衝層(ZnS Buffer Layer) 29
2.3.5透明導電層(i-ZnO/n-ZnO Transparent Conductive Oxide) 29
2.3.6鋁電極(Aluminum Electrode) 30
第三章、實驗流程 31
3.1基板切割與清洗 32
3.2鉬背電極製作 33
3.3 CZTS前驅體蒸鍍 35
3.4 CZTS硫化與退火製程 36
3.5 ZnS CBD製程 38
3.6 ZnO、AZO與Al指狀電極薄膜濺鍍 40
3.7特性分析儀器 41
第四章、結果與討論 49
第五章、結論 63
參考文獻 64

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