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研究生:楊國義
研究生(外文):Kuo-IYang
論文名稱:六標準差之應用以降低銅製程研磨液製造成本
論文名稱(外文):Six Sigma Applications for Cost Reduction on Cu Slurry Production
指導教授:趙隆山
指導教授(外文):Long-Sun Chao
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:工程科學系碩士在職專班
學門:工程學門
學類:綜合工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2016
畢業學年度:104
語文別:中文
論文頁數:73
中文關鍵詞:六標準差DMAICGage R&R
外文關鍵詞:Six-SigmaD.M.A.I.CGage R&R
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最早在1987年開始推動六標準差改善計畫是Motorola公司,而奇異公司在1995年也跟進六標準差計畫,台灣企業亦於1999年起陸續跟進。六標準差(Six-Sigma, 6σ)是最高品質的象徵,它不只是一系列的改善活動,也是企業追求卓越的一種經營模式。
本論文研究的主題是藉由運用六標準差工具來分析研磨液生產製程,來優化生產程序以及降低製造成本,我們期望藉由解決實務上的問題同時也更熟悉六標準差改善手法的運用。
本研究是經由六標準差工具的15個DMAIC關鍵步驟流程,並搭配Minitab軟體運算及Gage R&R系統分析,一步一步按照15個DMAIC關鍵步驟流程來找出影響成本最關鍵的因子,而藉由本研究結果證實,優化這些因子以降低生產成本,產品可以維持相同的效能且生產成本可以降低25%,達成設定目標。
關鍵字: 六標準差,DMAIC,Gage R&R

In the very beginning, Motorola Co. Ltd. Implemented and Initiated the Six-Sigma tools, which started from 1987. GE Co. Ltd. followed the Six sigma implementation by1995. Then Taiwan started to follow up from 1999. Six-Sigma is the designation of best quality. It is not only a series of improving activities but also a business model for enterprise to pursuing extraordinary.
This thesis is to analyze slurry production process by utilizing Six-sigma tools, which is to optimize the process and then reduce the manufacturing cost. It is expected that we could be more familiar with the tools through resolving the practical problems.
In the study, the fifteen key steps of Six-sigma DMAIC (Define, Measure, Analyze, Improve, Control) process with Minitab software operation and Gage R&R system analysis are used. The problem is analyzed step by step to find out the key factors to impact the manufacturing cost. Afterwards, the factors are optimized to reduce the production cost. The research results show that the product could maintain the same performance and the cost can be reduced over 25% after the process optimization. The results meet the setting target.
Keywords: Six-Sigma, D.M.A.I.C, Gage R&R

目錄
摘要 I
Extended Abstract II
誌謝 XI
目錄 XII
表目錄 XV
圖目錄 XVI
第一章 緒論 1
1-1 前言 1
1-2 研究動機與目的 1
1-3 文獻回顧 3
1-4 研究架構和流程 5
第二章 理論基礎 8
2-1 六標準差起源 8
2-2 六標準差介紹 9
2-3 六標準差之宗旨 12
2-4 六標準差問題解決模式 15
2-4-1 DMAIC流程改善模式 15
2-4-2 六標準差研究的關鍵因子 18
2-4-3 量測系統分析 18
2-4-3-1 影響量測系統的性能 18
2-4-3-2 Gage R&R簡介 21
2-5 六標準差之成功關鍵因素 23
第三章 化學機械研磨液介紹 26
3-1 化學機械研磨液的沿革 26
3-2 化學機械研磨的技術原理 26
3-2-1 化學機械研磨(CMP)介紹 26
3-2-2 研磨終點偵測 30
3-3 研磨液的技術原理 31
3-3-1 研磨液組成 31
3-3-2 不同系列研磨粒子的研磨液介紹 31
3-3-3 研磨粒子對金屬研磨速率和表面平坦度的影響 34
3-4 C研磨液的製造流程介紹 36
第四章 研究方法與分析 40
4-1 定義關鍵品質(Define CTQ) 41
4-2 制定章程(Develop Charter) 42
4-2-1 問題陳述 42
4-2-2 目標設定 42
4-3 定義績效標準(Define Performance Standards) 43
4-4 正確數據、計劃及收集資料(Identify Data, Plan and Collect Data) 44
4-5 量測系統分析(Measurement Systems Analysis) 45
4-5-1 LPC的Gage R&R資料分析 46
4-5-2 Remove Rate的Gage R&R資料分析 48
4-6 最終績效衡量(Finalize Performance Measures) 51
4-7 定義權利(Define Entitlement) 52
4-8 確定變異來源(Identify Variation Sources) 53
4-9 篩選潛在的根本原因(Screen Potential Root Causes) 53
4-10 建立傳遞功能(Establish Transfer Function) 53
4-11 建立操作允許偏差(Establish Operating Tolerances) 60
4-11-1 降低人員工時後C研磨液效能驗證 60
4-11-2 更換不同廠牌濾心後C研磨液效能驗證 63
第五章 結果與探討 68
第六章 結論與建議 70
參考文獻 71



參考文獻
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[03]陳素蓮,“台北銀行顧客查詢與抱怨系統之流程再設計—以六標準差DMAIC手法模擬,東海大學企管碩士論文 ,2001年。
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[06]林家賢,“利用六標準差管理改善半導體製程中保護層缺陷數,逢甲大學工業工程與系統管理學系碩士論文,2013年。
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[31]Minitab15中文操作說明書可連結以下網址下載PDF檔,網址如下: http://blog.ncut.edu.tw/userfile/2688/MeetMinitab15%E4%B8%AD%E6%96%87%E7%89%88.pdf
[32]戴明(W. Edwards Deming)維基百科,資料來源:https://zh.wikipedia.org/wiki/PDCA
[33] Accusizer儀器示意圖,資料來源: http://www.omni-semitech.com/product_info.php?sn=17

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