(3.236.118.225) 您好!臺灣時間:2021/05/16 14:22
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果

詳目顯示:::

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:吳滙千
研究生(外文):Hui-ChienWu
論文名稱:蝕刻製程技術開發之最佳策略
論文名稱(外文):Optimal Strategy of Etching Process Technique Development
指導教授:施勵行施勵行引用關係
指導教授(外文):Li-Hsing Shih
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:工程管理碩士在職專班
學門:工程學門
學類:綜合工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2016
畢業學年度:104
語文別:中文
論文頁數:70
中文關鍵詞:層級分析方法蝕刻製程最佳化策略
外文關鍵詞:AHPEtch ProcessOptimal Strategy
相關次數:
  • 被引用被引用:1
  • 點閱點閱:100
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
一個現代化的生產工廠,面對的是產能,良率,成本,人員訓練,安全,社會責任…種種面向上的不同要求,有部分要求之間殊途同歸,有的要求卻可能背道而馳互不相關。例如環保與成本很多時候會有所衝突,但環保與安全有可能可以通過類似的努力而一舉數得。惟其共同點都是希望透過最有效率的生產模式、合理分配資源,來幫助公司或者品牌獲利,穩定中發展。在這樣的前提下,個人經驗與能力在決策時的品質備受考驗。透過更多在特定領域的專長人士所做的群體決策,或許具有更完整的判斷與包容性,然而,如何能讓參與決策的群體,在同樣的標準下客觀地給出自己的評分,對於同樣的認同給予一致的分數,這部分的挑戰就是在本篇論文裡試圖運用層級分析方法來幫助改善決策品質的地方。
本研究以案例公司在開發其蝕刻製程為著眼點,藉由訪談的方式,逐一找出蝕刻製程需要考量的準則項目,準則該如何定義,如何評價,接著邀請對蝕刻製程開發有經驗的專業人員,針對主要準則、次要準則進行專家問卷,透過expert choice 軟體計算準則權重。最終決定評分時,經由主觀評分(專家問卷)與客觀數據(生產數據)給定各個不同準則的分數。透過專案團隊,成員包含有製程、生產、廠務、機械工程等單位同仁反覆確認與討論,最終訂定「基板表面品質」、「廢棄物污染度」、「建置成本」、「人體工學安全度」與「產出速度」等五大構面及14項次要準則,經由專家訪談的方式,求得評估準則之權重重要性由高到低依序為:「人體工學安全度」:0.494、「基板表面品質」:0.233、「產出速度」:0.156、「廢棄物污染度」:0.069、「建置成本」:0.049。結合主、客觀數據與權重,最終計算出濕式蝕刻略高於乾式蝕刻製程法,以此提出作為該蝕刻方案之建議參考。
SUMMARY
This is a research aim to resolve confliction in a modern manufacture process technique, etch process, best compromise between various requirements some are maybe want while some others are must to have. In other words, what is the optimal strategy by case study of a glass substrate company? Analytic Hierarchy Process (AHP) methodology can be very powerful tool in terms of transfer fuzzy idea into a quantified data. Provide sufficient communication with chosen experts in regard to etch process and score criteria. A team can be considering all perspectives, i.e. quality, cost, safety, environmental friendly…etc. so concentrate to a solid score which represent importance of each area. By end of whole AHP process, project team learns that importance of criteria from high to low are「Safety」:0.494, Substrate surface quality」:0.233, 「Productivity」:0.156, 「Waste toxicity」:0.069, 「Cost」:0.049. Comes out conclusion score of wet etch is 6.82 would be more suitable solution compare with dry etch process score 6.66 in this case study.

Key words: AHP, Etch Process, Optimal Strategy

摘要 i
Extended Abstract ii
誌謝 v
目錄 vi
圖目錄 ix
表目錄 x
第一章 緒論 1
第一節 研究背景與動機 1
第二節 研究目的 2
第三節 研究流程 3
第四節 研究架構 5
第二章 文獻探討 6
第一節 玻璃基板製造技術簡介 6
第二節 玻璃蝕刻技術之選擇決策 8
2.2.1蝕刻原理 9
2.2.2濕式蝕刻 9
2.2.3乾蝕刻法 11
第三節 層級分析法 14
2.3.1 AHP內涵與特性 14
2.3.2 AHP目的與假設 14
2.3.3 AHP階層與要素[10,11] 15
2.3.4 AHP應用範圍與領域[10,11] 17
2.3.5 AHP 應用於技術選擇 18
2.3.6 AHP曾用在技術選擇的應用 21
第三章 個案產業與研究方法 23
第一節 AHP 評估準則探討 24
3.1.1表面粗糙度[4] 26
3.1.2廢棄物汙染度 30
3.1.3製程建置成本 31
3.1.4人體工學安全度 31
3.1.5產出速度 32
第二節 彙整AHP模式 32
第三節評估準則與蝕刻製程方案評分方法陳述 37
第四章 實例研究與應用分析 41
第一節 評估準則權重之計算 42
4.1.1問卷設計與訪談資料紀錄 42
4.1.2專家選定 42
4.1.3建立評估準則之成對比較矩陣 44
4.1.4計算特徵向量 45
4.1.5計算成對比較矩陣之最大特徵值λmax 46
4.1.6一致性檢定 46
4.1.7計算各評估準則之權重 47
第二節 案例公司蝕刻方案之評分結果 50
4.2.1 客觀數據蒐集評分 50
4.2.2主觀評分計算 53
4.2.3綜合評分 54
第五章 結論與建議 58
第一節 結論 58
第二節 建議與未來研究方向 59
參考文獻 60
附錄一: AHP評估準則訪談問卷 62
附錄二:AHP專家訪問名單 67
附錄三:專家權重成對比較評分數據紀錄表 68
附錄四:專家主觀準則評分數據紀錄表 70
參考文獻
中文書籍
[1]王志方,「表面材料檢定技術」,復漢出版社,2010年
[2]宋雲傑,「矽與氧化矽蝕刻技術之研究」,國立成功大學微機電系統工程所碩士論文,中華民國95年7月。
[3]李思賢,「高科技產業工廠節能知方案評選:以M公司為研究案例」,國立成功大學工學院工程管理碩士在職專班碩士論文,中華民國102年1月。
[4]林奎杰、吳正興、劉軒宗,「表面粗糙度量測」,逢甲大學自動控制工程學系專題論文,民國92年
[5]吳昭儀,「層級分析法群體決策整合模式之研究」,國立成功大學工業與資訊管理學系博士論文,中國民國94年5月
[6]郭俊麟,「應用層級分析法與德菲法探討背光源替代技術之選擇評估 - 以筆記型電腦背光模組為例」,國立成功大學工學院工程管理碩士在職專班碩士論文,中國民國96年7月
[7]張馨文,「應用分析層級程序法評估機場鋪面管理系統之關鍵因子」,國立成功大學土木工程研究所, 中華民國96年6月。
[8]褚志鵬,「層級分析法(AHP)理論與實作」,國立東華大學企業管理學系,2009年
[9]廖芳誼,「運用多準則決策於長期演進技術雙工模式之評選」,國立成功大學電信管理研究所碩士論文,中華民國102年6月
[10]鄧振源、曾國雄,1989,「層級分析法(AHP)的內涵特性與應用(上)」,中國統計學報:第27卷,第6期。
[11]鄧振源、曾國雄,1989,「層級分析法(AHP)的內涵特性與應用(上)」,中國統計學報:第27卷,第7期。
[12]蔡獻逸,「液晶顯示器用玻璃基板」,科學發展406期,民國95年10月。
[13]龍柏華,「濕蝕刻製程介紹暨機台原理簡介」,光連雙月刊,2003年11月,48期
[14]顏嘉汶,「運用AHP法評選晶圓代工維修廠商之研究」,國立成功大學工學院工程管理碩士在職專班碩士論文,中華民國101年6月。

網頁
[15]Undercut(底切現象),取自http://en.wikipedia.org/wiki/Undercut_(manufacturing) 最後瀏覽日2016年9月6日
[16]全球智慧型手機之顯示屏解析度出貨量趨勢,取自NPD Display Search, 2014年2月
[17]液晶顯示器元件組成圖,取自瑞儀光電公司網址http://www.radiant.com.tw,最後瀏覽日期2014年。
英文
[18]Karen A. Reinhardt, Werner Kern, Handbook of Silicon Wafer Cleaning technology, 2nd Edition
[19]Saha, S., Treatment of Aqueous Effluent for Fluoride Removal, Water research,
[20]Saaty Thomas L., 1990, 「Decision Making For Leaders: the analytic hierarchy process for decisions in a complex world」, Pittsburgh, PA: RWS Publications.
[21]Satty Thomas L., 1994, 「Fundamentals of decision making with the analytic hierarchy process」PA: RWS Publications.
[22]Saaty, T.L. (1980), “The Analytic Hierarchy Process, McGraw-Hill, New York.
[23]Saaty, T.L. (1982), “Decision Making for Leaders, Wadsworth, Belmont, California.
[24]Saaty, T.L. and Vargas, L.G. (1982), “The Logic of Priorityies, Kluwer-Nijhoff, Boston, Massachusetts.
[25]Saaty, T.L and Kearns, K.P. (1985), “Analytical Planning, Pegramon Press, New York.
連結至畢業學校之論文網頁點我開啟連結
註: 此連結為研究生畢業學校所提供,不一定有電子全文可供下載,若連結有誤,請點選上方之〝勘誤回報〞功能,我們會盡快修正,謝謝!
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top