臺灣博碩士論文加值系統

台灣面板產業發展至今已逾20餘年，然而近幾年中國面板廠積極搶市，年年蓋新廠，再加上韓國兩大業者產能持續開出滿載，反觀台灣這幾年各大面板廠卻都沒有大幅投資擴廠規劃與消息。因此台灣各大面板廠需要確實利用現行機台配置及生產良率來提升產能，才能在激烈的面板競爭環境下保持長期的競爭優勢。
本研究主要是在探討彩色濾光片在生產製程中所出現的光阻突沸，這是在中大世代LCD的彩色濾光片都會存在的品質問題，此問題發生時會中斷生產線造成產能嚴重的損失。而工程單位對於光阻突沸的現行處理方式都是將真空乾燥機的抽真空流速放慢來降低光阻突沸的數目，然而這樣的解決辦法會造成生產時間變長，進而使得生產產能無法提高。
此研究希望透過機台改造的方式提高速度並搭配生產設備參數調整來降低光阻突沸的數量與提高生產產能，而本研究最大的貢獻在於原本因為光阻突沸所造成的製程時間延遲，利用真空乾燥機的頂針提高使光阻溶劑揮發速度加快與驗證出突沸的壓力區間會隨著抽氣曲線的緩和直接影響自動光學檢查機點數。

Taiwan LCD industry has been 20 years of development, in recent years, China's LCD factory to actively grab the market, every year to build a new plant, coupled with the two major companies in South Korea continued to run out of full capacity, the other hand, Taiwan has not invested heavily in the past few years to expand planning and news, To use the existing machine configuration down to enhance production capacity in the fierce panel competition to maintain long-term competitive advantage.
This study is to discuss the color filter in the production process of the bumping hole, which is in the large generation of LCD color filter has been existed, this problem will interrupt the production line production caused serious loss of production capacity, and Engineering for the bumping hole treatment is to slow down the vacuum flow to reduce the number of the bumping hole, but this action will suffer a longer production time, will make the production capacity can not be improved.
In this experimental study .We hope the improvement of the production capacity by reform the device to speed up and adjustment the parameters to reduce the number of bumping hole. The biggest contribution of this study is due to the sudden delay caused by photoresist boiling, the use of VCD pin to improve the credit resistance of the solvent to accelerate the speed, so that the acceleration of the photoresist solvent to speed up and verify the pressure range of the vacuum with the pressure curve of the gradual impact of the direct impact of Automatic Optical Inspection machine points.

致謝 i
摘要 ii
Abstract iii
目錄 iv
第一章 緒論 1
一、研究背景 1
（一）現況說明 1
（二）BM 出現的突沸造成的影響 2
（三）AOI 停線說明 2
（四）改善效益 3
二、相關理論與文獻回顧 4
（一）人類視覺與色彩 4
（二）液晶螢幕(Liquid Crystal Display; LCD)製作簡介 9
（三）CF 製作流程簡介 10
（四）光阻塗佈技術原理簡介 15
（五）真空乾燥機(VCD)製程原理 18
（六）光阻材料組成 18
（七）AOI自動光學檢測機 23
第二章 實驗設備與方法 25
一、CF 機台製程介紹 25
（一）CF 光阻塗佈機簡介 25
（二）CF真空乾燥機 26
二、CF 機台製程異常介紹 27
（一）VCD光阻突沸介紹 27
（二）光阻突沸原理介紹 27
（三）光阻突沸改善 28
第三章 實驗設計與結果 29
一、實驗設計1: 機台改造 31
二、實驗設計2: 設定VCD recipe參數 35
第四章 結論 41
參考文獻 42

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