臺灣博碩士論文加值系統

本研究使用雙離子束輔助濺鍍系統，在矽基板上製備鎳/氧化鎳(16%O2/Ar)雙層薄膜，並利用X-Ray繞射分析確認此薄膜的晶體結構 ; 穿透式電子顯微鏡(TEM)進行晶粒大小、成分結構和薄膜厚度等分析，進而再與XRD的分析結果做出比對驗證。
XRD分析結果顯示鎳/氧化鎳雙層薄膜中; 鎳層具有面心立方(F.C.C)結構，晶格常數約為3.53 Å;而氧化鎳層亦為面心立方結構，晶格常數約為4.29Å。穿透式電子顯微鏡分析顯示晶粒大小介於8~35nm。
震動樣品磁力計(VSM)研究結果顯示 ：鎳/氧化鎳(16%O2/Ar)雙層薄膜在室溫(T=298K)之磁性質為飽和磁化強度Ms = 1.3 memu ，矯頑磁力Hc = 2.6 Oe 。交換偏壓Hex =6 Oe 。無明顯交換偏壓場的原因可能為常溫之下， 晶格因熱擾動導致晶格震動影響造成 。從鎳/氧化鎳(16%O2/Ar)雙層薄膜在室溫(T=298K)量測出磁滯曲線圖可以看出 ，試片於平行膜面量測時達到飽和所需的外加磁場較垂直膜面量測時來得小,故可以得知此試片有平行膜面方向的易磁化軸。

目錄
第一章、緒論 1
1-1 前言 1
1-2 基礎理論 2
1-2-1磁性物質簡介 2
1-2-2磁異向性 7
1-3 交換耦合機制 9
1-3-1交換耦合理論模型 11
1-4 磁性材料應用 15
1-5 文獻回顧 17
1-6 第一章參考文獻 19
第二章、實驗方法與設計 20
2-1 實驗設計與實驗流程 20
2-2 材料選用 22
2-3 樣品製備 24
2-4 雙離子束濺鍍系統(Ion Beam Assisted Depsition，IBAD) 26
2-5第二章參考文獻 30
第三章、分析儀器原理與介紹 31
3-1 X光繞射儀(X-Ray Diffraction,XRD) 31
3-2 穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscopy,TEM) 34
3-3震動樣品磁力計(Vibrating Sample Magnetometer,VSM) 39
3-4 第三章參考文獻 40
第四章、結果與討論 41
4-1 X光繞射分析(XRD) 41
4-1-2 穿透式電子顯微鏡(TEM)微結構分析 43
4-1-3 震動樣品磁力計(VSM)磁性量測 46
第五章、結論 48

第一章參考文獻
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第三章參考文獻
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