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研究生:

卓虹吟

研究生(外文):

Hung-YinJuo

論文名稱:

雷射干涉微影技術搭配光電化學法製作多重通道氮化鋁鎵/氮化鎵金氧半高電子遷移率場效電晶體之研究

論文名稱(外文):

Investigation of Multi-Channel AlGaN/GaN MOS-HEMTs Fabricated Using Laser Interference Photolithography Method and Photoelectrochemical Method

指導教授:

李清庭

指導教授(外文):

Ching-Ting Lee

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立成功大學

系所名稱:

微電子工程研究所

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2017

畢業學年度:

105

語文別:

中文

論文頁數:

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點閱:82
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