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研究生:林家緯
研究生(外文):Chia-WeiLin
論文名稱:退火製程對於高移動率矽鍺半導體載子活化及應力維持之影響
論文名稱(外文):Effect of Annealing on Dopants Activation and Stress Conservation for High Mobility Silicon-Germanium Semiconductor
指導教授:李文熙
指導教授(外文):Wen-Hsi Lee
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:電機工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2017
畢業學年度:105
語文別:英文
論文頁數:89
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