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研究生:董庭維
研究生(外文):Tung, Ting-Wei
論文名稱:高靈敏氨氣與一氧化氮有機垂直式氣體感測器
論文名稱(外文):Highly Sensitive Vertical Organic Gas Sensor for Ammonia and Nitric Oxide
指導教授:冉曉雯
學位類別:碩士
校院名稱:國立交通大學
系所名稱:光電工程研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2017
畢業學年度:105
語文別:中文
論文頁數:49
中文關鍵詞:放大電流氨氣感測一氧化氮感測過濾氨氣
外文關鍵詞:enhance current densityammonia detectionnitric oxide detectionfilter out ammonia
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摘要 I
Abstract II
致謝 III
目錄: V
圖目錄: VII
表目錄 X
第一章、緒論 1
1.1 研究動機: 1
1.2 先期成果: 3
1.3 空氣背景量測系統簡介 5
1.4 氨氣檢測之應用 7
1.5 呼氣蒐集方法介紹 10
第二章、有機材料與基本半導體物理介紹 11
2.1 有機材料特性與簡介 11
2.2 有機二極體的操作原理 12
2.3 金屬與半導體接面原理 13
2.4 載子傳輸理論及空間電荷限制理論 15
2-4-1 接面限制的熱離子發射理論及穿隧效應 15
2-4-2 塊材限制與空間電荷限制 17
第三章、有機半導體氣體感測元件製程 18
3-1 基板之圖樣定義製程 18
3-2 垂直式孔洞結構之有機材料二極體製程 20
第四章、多種有機氣體感測器之比較 26
4.1 多種有機材料之比較 26
4.1.1 元件靈敏度及其原理 27
4.1.2 選定元件工作電壓 28
4.1.3 多種有機材料比較 30
4.1.4 有機材料對於相對濕度之影響 32
4.1.5 雙層結構之比較 34
4.1.6 多種有機材料壽命與結構之比較 36
4.2 多種有機材料對於氣體的選擇性 38
4.2.1 高靈敏一氧化氮感測材料 39
4.2.2 混合氣體實驗系統介紹 41
4.2.3 混合氣體比較與結果 42
4.2.4 濾除氨氣測試 43
4.2.5 選擇性測試結果討論 45
4.2.6 人體呼氣測試 46
第五章、研究總結與未來展望 47
Reference 49
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