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研究生:徐裕程
研究生(外文):Hsu, Yu-Cheng.
論文名稱:多層抗反射膜於兆赫波頻段之製作
論文名稱(外文):Fabrication of broadband multilayer antireflection coating in THz region
指導教授:張存續
指導教授(外文):Chang, Tsun-Hsu
口試委員:潘犀靈、嚴大任
口試委員(外文):Pan, Ci-Ling、Yen, Ta-Jen
口試日期:2017-07-06
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:物理學系
學門:自然科學學門
學類:物理學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2017
畢業學年度:105
語文別:中文
論文頁數:58
中文關鍵詞:抗反射鍍膜、多層抗反射鍍膜、調製等效折射率、填充率與週期寬度
外文關鍵詞:broadbandmultilayerantireflection、THz、subwavelengthsilicon、holesizeandperiod
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