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研究生:葉哲瑋
研究生(外文):Yeh, Che-Wei
論文名稱:具大面積自動化加工之奈米3D微影系統
論文名稱(外文):Automatic Large Area Fabrication for Nano 3D Lithography System
指導教授:傅建中傅建中引用關係
指導教授(外文):Fu, Chien-Chung
口試委員:宋震國鄭正元
口試委員(外文):Sung, Cheng-KuoJeng, Jeng-Ywan
口試日期:2017-07-31
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:奈米工程與微系統研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2017
畢業學年度:105
語文別:中文
論文頁數:54
中文關鍵詞:奈米3D微影技術高速自動對焦疏油結構疏水結構結構陣列
外文關鍵詞:Nano 3D LithographyHigh-speed Autofocus SystemOmniphobic SurfaceStructure Array
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