臺灣博碩士論文加值系統

本研究係利用熱阻式蒸鍍系統將Al材料蒸鍍於PET塑膠基板，製作半透光學薄膜，蒸鍍過程中發現試片薄膜不均勻的現象，由於蒸鍍之膜厚分布是以cosine曲線分布[3]，所以設計了鎢舟由Chamber中心逐次向外偏移，觀察其薄膜透光度分佈狀況。為市售之LED燈條背光源，覆蓋上試片後再使用LUMINANCE METER LS-100測量其輝度，探討不同的鎢舟固定位置所蒸鍍之試片其透光度分佈。
結果顯示，鎢舟固定位置的外移可以有效地改善均勻性，但當鎢舟位置偏移到2公分以後反而使中央太薄導致整體均勻性變差。

The Aluminum thin film was prepared by thermal evaporation method. In the process of evaporation, it is found that Al thin film is Inhomogeneous. The thickness distribution of the Al thin film is distributed in the cosine curve. Therefore, the tungsten boat is moved from the Chamber center to the center by step, and the transmittance of the film is observed .The Luminance of Al thin film was measured by Luminance meter LS-100 to discuss the transmittance distribution of the Al thin film by different tungsten boat fixed positions.
Results show that the uniformity was improved by move the tungsten boat,But when the position of the tungsten boat is moved over 2 centimeters, it makes the center too thin to make the overall uniformity worse.

目錄
摘要
Abstract
致謝
目錄
圖目錄
第一章 緒論
1-1前言
1-2 研究動機與目的
第二章 相關理論
2-1 鋁的介紹
2-1-1鋁
2-2蒸鍍基本理論
2-2-1氣體薄膜沉積法
2-2-2平均自由路徑
2-3 膜厚分佈理論
2-3-1點蒸發源之討論
2-3-2面蒸發源之討論
2-4蒸鍍變數
2-4-1基板清潔度
2-4-2腔體清潔度
2-4-3腔體真空度
2.4.4基板溫度
2-5電阻式熱蒸鍍
第三章 實驗方法
3-1實驗方法
3-2 實驗設備
3-1-1真空系統
3-1-2冷卻系統
3-1-3測量儀器
3-2 實驗原料及基板
3-2-1蒸鍍材料
3-2-2基板
3-3實驗流程
3-4 分析方法
第四章 結果與討論
4-1鎢舟固定位置於原點對均勻性之影響
4-2鎢舟固定位置偏移一公分對均勻性之影響
4-3鎢舟固定位置偏移兩公分對均勻性之影響
4-4鎢舟固定位置偏移三公分對均勻性之影響
第五章 結論
參考文獻

參考文獻
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