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論文基本資料
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目次
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研究生:
林益安
研究生(外文):
LIN, YI - AN
論文名稱:
半導體廢氣水洗塔加藥最佳位置點之研究
論文名稱(外文):
Study on the best Dosing point of semiconductor process exhaust wet scrubbers
指導教授:
馬恆
指導教授(外文):
MA,HENG
口試委員:
林少斌
、
劉光泰
、
馬恆
口試委員(外文):
LIN,SHAO-BIN
、
LIU,GUANG-TAI
、
MA,HENG
口試日期:
2019-06-04
學位類別:
碩士
校院名稱:
中華大學
系所名稱:
工業管理學系
學門:
商業及管理學門
學類:
其他商業及管理學類
論文種類:
學術論文
論文出版年:
2019
畢業學年度:
107
語文別:
中文
論文頁數:
43
中文關鍵詞:
半導體製程
、
濕式水洗塔
、
空氣污染防制設備
、
洗滌液PH值
外文關鍵詞:
semiconductor process
、
wet scrubber
、
Air pollution control equipment
、
detergent's PH value
相關次數:
被引用:0
點閱:293
評分:
下載:2
書目收藏:0
現行半導體高科技產業使用種類繁多的化學物質,半導體製程上的酸/鹼/毒廢氣皆使用填充式濕式水洗塔來做處理,環境污染日趨惡化使的社會大眾的環保意識提高並對環保愈趨注重。環保因而法規愈趨嚴格,污染管制紛紛提高標準,違規罰款可達上千萬元並可處刑責嚴重會導致工廠停工造成嚴重損失,因此對於如何有效的處理半導體製程上所排放的廢氣,改善精進空氣污染防制設備以發揮最大效益,更是重要的任務,挑戰就越來越大。
然在已建置完成廠房廢氣洗滌塔在現今電子業競爭激烈、微利時代已無法再做更新設備或變更設計,在廢氣洗滌塔設計項目中幾乎只能以日常維護保養維持其處理效率及功能避免偏移設計處理量造成異常排放,但洗滌液的PH值會受製程產出廢氣影響需穩定控制才能維持去除率避免未完全處理半導體製程所排放的廢氣而直接排至環境造成環境污染,洗滌液的PH值偏移操作許可的操作值亦會遭受環保單位罰款甚至會造成工廠停工無法生產。
本研究以提升酸性廢氣處理設備之PH值穩定控制及降低其運轉成本為目的,就洗滌液的PH控制藥劑添加位置點進行測試實驗,以實際紀錄測試實驗點洗滌液PH值歷史曲線說明最佳的加藥點,及節省實際用藥量測試實驗點,期能穩定控制且降低用藥量,節省降低水洗塔操作成本。
Nowadays semiconductor industry use various of chemical substances in manufacturing processes. Acid, alkaline, other toxic gases all use packed bed wet scrubber to do further disposition in semiconductor processes. Due to deterioration of the environment pollution intensificate people's consciousness and pay more attention on environmental protection. Stricter laws and regulations, raised standards of pollution control, up to 10 millions high penalty fine and possible criminal sanction might resulted in factory shutdown cause huge loss. Therefore, how to handle the waste gas of semiconductor processes effectively and improve air pollution control equipment to reach greatest benefit become an important mission and greater challenge.
Current built waste gas packed bed wet scrubber can not upgrade equipment or change it's original design to improve its efficiency and operation functions. Therefore, packed bed wet scrubber could mainly rely on regular maintanence to avoid waste gas handling volume variation result in abnormal emissions. Detergent's PH value will affect by exhaust gases from manufacturing processes which need to control waste gases removal rate stability. If the waste gases from semiconductor processes didn't complete exhaust gases treatment and enter ourside environment will cause huge pollution. Detergent's PH value specification also be reviewed and audited by goveronment environmental protection department. If there's any out of specification of the PH value might face penalty fine, even resulted in factory shutdown which affect production line operation.
The purpose of this study is to improve detergent's PH value stability control of waste acid gas handling equipment and reduce its operation cost. Use past PH control chemical added points trend chart to find out best added point and use chemical added volume as an variation index to conduct detergent's PH value stability experiment. With the experiment, hope can find out the best chemical added point and approciate added volume to reduce packed bed wet scrubber operation cost.
摘要 i
ABSTRACT ii
誌謝辭 iii
目錄 iv
表目錄 v
圖目錄 vi
第一章 緒論 1
第一節 研究背景 1
第二節 問題描述 1
第三節 研究目的 1
第四節 研究限制 2
第二章 文獻探討 3
第一節 半導體製造 3
第二節 半導體廠製程濕式廢氣水洗塔 7
第三節 半導體製造業空氣污染管制及排放標準 17
第三章 研究內容與方法 20
第一節 研究流程 20
第二節 實驗方法 20
第四章 實驗結果 26
第五章 結論 30
參考文獻 32
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