臺灣博碩士論文加值系統

在中國大陸面板業持續擴張下，台灣為提高競爭力，節流以降低生產成本已是最重要的課題；而製造面板流程中，化學品所佔的比例比其他製程成本高，因此化學品回收對於生產成本有很大的幫助。
本研究主要針對個案面板廠於製造過程中所使用的光阻剝離液進行回收，但回收光阻剝離液受限於個案面板廠設備的耗用限制，以及廠務端收集廢液再到化學品回收廠商所提供的60%回收率限制下，如何做到最佳的回收效率為本研究最終的指標。
然而光阻剝離液於個案設備生產過程中所產生的廢液，經由廠務端收集給回收廠進行回收，再將回收後的化學品運回到個案廠進行製程，此循環具有高度動態且複雜的動態關係，故本研究借重系統動力學來進行研究，並利用系統動力學的模擬軟體Vensim PLE，將個案廠的光阻剝離液使用方式建構在模擬軟體中，以模擬個案廠使用化學品的現況，並由現況進行各項政策模擬，以找出最佳的化學品回收率方法。
因此本論文預期執行政策後期望可提高光阻剝離液的回收率，除了可降低生產成本，減少公司營運支出外，對於企業社會責任、企業永續經營、企業形象、綠能環保等皆是目前環保產業發展的重點；也因此企業除了追求高獲利外，對於環境保護也需盡一份力，最終期望達到環境、能源及產業均能永續發展的目標。

This research makes use of the method of system dynamics to inquire into a photoresist stripper recovery rate, Because the photoresist stripper uses a procedure complicated, and is influenced by many different depletion sources, Change these parameters that consume and use a source all will produce the variety to the recovery rate, Have the high dynamic state variety，Therefore make use of the system dynamics software Vensim PLE to construct the photoresist stripper model, With the use current conditions that imitates a chemicals, And is carried on the simulate of each policy by the current conditions，With find out the best chemicals recovery rate method.
This research puts great emphasis on the photoresists stripper recycle efficiency, And analyze three key factors：Adjust the air knife regulator, Establish exhaust condenser, and use SRS recycle system to increase the recovery rate. In addition, After carrying out the policy emulation, The Stripper recovery rate can promote to 77.6%。

摘要 I
誌謝 VIII
表目錄 XI
圖目錄 XII
第一章 緒論 1
第一節 研究背景與動機 1
第二節 研究目的 3
第三節 研究範圍與限制 5
第四節 研究流程 6
第二章 文獻探討 8
第一節 光阻剝離液耗用源介紹 8
第二節 探討化學品減量的方法 11
第三節 實施化學品減量的優點 13
第四節 環保產業的發展 14
第五節 系統動力學介紹 15
第六節 小結 19
第三章 研究方法 20
第一節 研究問題 20
第二節 資料蒐集 21
第三節 資料分析方法 25
第四節 模型架構 30
第五節 整體模型架構 31
第四章 模型模擬與政策分析 40
第一節 三大耗用源政策模擬 40
第二節 Exhaust冷卻管模擬分析 51
第三節 綜合模擬分析 55
第四節 SRS回收系統模擬分析 58
第五章 結論 62
第一節 研究結論與貢獻 62
第二節 未來研究發展 65
參考文獻 66
附錄 模型公式 70

王奕凱, ＆ 陳澤生. (2016). TFT-LCD產業運用化學品分級管理模式之成效評估－以X公司為例. 工業安全衛生(325), 31-52. doi:10.6311/ishm.2016.325.5
呂來發. (2018). 綠色工廠推動與成效之探討─以汽車公司為例. 中央大學, 中央大學博碩士論文 102450074 database. (2018年)
范今瑀. (2017). 光阻剝離液回收系統效率之最佳化. 中興大學, Available from Airiti AiritiLibrary database. (2017年)
張淳堯. (2015). 直流微電漿電極最佳化設計. 中興大學, Available from Airiti AiritiLibrary database. (2015年)
張瑞琪. (2010). 高科技產業高沸點製程廢氣調查技術研究. 國立交通大學, Institutional Repository of NCTU database. (2010年)
張嘉玲, ＆ 陳明義. (2009). 綠色產業發展趨勢. [Development of the Green Industry Concept]. 科學與工程技術期刊, 5(1), 11-17. doi:10.7117/jset.200903.0011
郭振雄, 何怡澄, 徐書凡, ＆ 彭火樹. (2017). 企業策略、企業社會責任報告與租稅規避之關聯性. [The Relationship between Business Strategies, Corporate Social Responsibility Reports, and Tax Avoidance]. 中華會計學刊, 12(S), 367-421. doi:10.6538/tar.2017.12s.02
陳宥杉, ＆ 張敬珣. (2014). 探討企業環保意識與企業環保主動性對企業環境績效之影響. [Exploring the Influences of Corporate Environmental Consciousness and Corporate Environmental Proactiveness on Corporate Environmental Performance]. 商略學報, 6(3), 153-166.
陳昭佑. (2017). 以企業社會責任面向探討企業推動環境教育 之做法與內涵:以光電廠為例. 交通大學, 國立交通大學博碩士論文 database. (2017年)
陳益滽, ＆ 張翼. (2004). 光電廠廢溶劑回收系統應用及系統改善. 國立交通大學, Available from 國家奈米實驗室
陳逸洋. (2016). 生產／再製造存貨模型中之最佳回收努力值策略. 中央大學, 中央大學博碩士論文 103426022 詳細資訊 database. (2016年)
陳寵文. (2006). 以田口方法探討光電廠去光阻劑回收系統運轉之最佳化. 交通大學, 台灣博碩士論文 database. (2006年)
曾俊賢. (2015). 應用實驗設計法於濕蝕刻機台省酸之研究. 中興大學, Available from Airiti AiritiLibrary database. (2015年)
葉銀華. (2017). 企業社會責任的本質與實踐. 會計研究月刊(384), 20-24.
蔡旻遑. (2011). 光電廠去光阻(Stripper)排氣時改善白煙形成與冷凝器回收效率提昇之研究. 交通大學, Available from Airiti AiritiLibrary database. (2011年)
羅時芳, ＆ 蘇姵伊. (2015). 全球環保產業市場概況及趨勢預測. 經濟前瞻(162), 103-107.
Barlas, Y. (1996). Formal aspects of model validity and validation in system dynamics. System Dynamics Review: The Journal of the System Dynamics Society, 12(3), 183-210.
Chaniago, Y. D., Kim, J. K., Park, M. J., Koo, K. K., ＆ Lee, M. (2016). Design and modeling of optimal distillation sequence for recovery of valuable components from a waste photoresist stripper. Journal of Material Cycles and Waste Management, 18(2), 366-376. doi:10.1007/s10163-014-0339-6
Chaniago, Y. D., Minh, L. Q., Khan, M. S., Koo, K.-K., Bahadori, A., ＆ Lee, M. (2015). Optimal design of advanced distillation configuration for enhanced energy efficiency of waste solvent recovery process in semiconductor industry. Energy Conversion and Management, 102, 92-103. doi:https://doi.org/10.1016/j.enconman.2015.03.086
Chu, C., Hsu, T., Chiang, T., Wang, Y., Wang, S., Yang, P., ＆ Fang, J. (2014, 22-24 Oct. 2014). Development of new photoresist stripping agent. Paper presented at the 2014 9th International Microsystems, Packaging, Assembly and Circuits Technology Conference (IMPACT).
Forrester, J. W. (1997). Industrial dynamics. Journal of the Operational Research Society, 48(10), 1037-1041.
Iaquaniello, G., Centi, G., Salladini, A., Palo, E., ＆ Perathoner, S. (2018). Waste to Chemicals for a Circular Economy. Chemistry – A European Journal, 24(46), 11831-11839. doi:10.1002/chem.201802903
Lallart, A., Garnier, P., Pizzetti, C., Lorenceau, E., Cartellier, A., ＆ Charlaix, E. (2017). Nanometric Particles Removal during Photoresist Stripping. Meeting Abstracts, MA2017-02(24), 1075.
Lozano, R. (2015). A Holistic Perspective on Corporate Sustainability Drivers. Corporate Social Responsibility and Environmental Management, 22(1), 32-44. doi:doi:10.1002/csr.1325
Mansouri, S. S., Udugama, I. A., Cignitti, S., Mitic, A., Flores-Alsina, X., ＆ Gernaey, K. V. (2017). Resource recovery from bio-based production processes: a future necessity? Current Opinion in Chemical Engineering, 18, 1-9. doi:https://doi.org/10.1016/j.coche.2017.06.002
Richardson, G. P. (1991). System Dynamics: Simulation for Policy Analysis from a Feedback Perspective. In P. A. Fishwick ＆ P. A. Luker (Eds.), Qualitative Simulation Modeling and Analysis (pp. 144-169). New York, NY: Springer New York.
Senge, P. M. (1991). The fifth discipline, the art and practice of the learning organization. Performance + Instruction, 30(5), 37-37. doi:doi:10.1002/pfi.4170300510
Shen, C.-w., Tran, P., ＆ Minh Ly, P. (2018). Chemical Waste Management in the U.S. Semiconductor Industry. Sustainability, 10(5), 1545.
Sidhoum, A. A., ＆ Serra, T. (2018). Corporate Sustainable Development. Revisiting the Relationship between Corporate Social Responsibility Dimensions. Sustainable Development, 26(4), 365-378. doi:10.1002/sd.1711
Sterman, J. (2000). Business Dynamics, System Thinking and Modeling for a Complex World (Vol. 19).
Tang, C. S., ＆ Zhou, S. (2012). Research advances in environmentally and socially sustainable operations. European Journal of Operational Research, 223(3), 585-594. doi:https://doi.org/10.1016/j.ejor.2012.07.030
Tu, J.-C., ＆ Huang, H.-S. (2015). Analysis on the Relationship between Green Accounting and Green Design for Enterprises. Sustainability, 7(5), 6264.
華人百科. (2015). vensim. Retrieved from https://www.itsfun.com.tw/vensim/wiki-8431817-9688596