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臺灣博碩士論文加值系統

(44.201.99.222) 您好!臺灣時間:2022/12/10 09:19
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研究生:張桄華
研究生(外文):Kuang-HuaChang
論文名稱:使用田口最佳化方法分析深溝槽矽槽蝕刻解決深溝槽中的針狀缺陷
論文名稱(外文):Optimize Needle Defect of Deep Trench Isolation
指導教授:趙隆山
指導教授(外文):Long-Sun Chao
學位類別:碩士
校院名稱:國立成功大學
系所名稱:工程科學系碩士在職專班
學門:工程學門
學類:綜合工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2020
畢業學年度:108
語文別:中文
論文頁數:57
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