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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:吳承晏
研究生(外文):Cheng-Yan Wu
論文名稱:良率和隨機均勻性檢定在晶圓圖分析中的應用
論文名稱(外文):Applications of Yield and Randomness Homogeneity Tests to Wafer Map Analysis
指導教授:夏勤夏勤引用關係陳竹一
指導教授(外文):Chin HsiaJwu-E Chen
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:電機工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2020
畢業學年度:108
語文別:中文
論文頁數:48
中文關鍵詞:晶圓圖良率均勻性隨機性均勻性標準差
外文關鍵詞:Wafer mapYield homogeneityRandomnessHomogeneityStandard deviation
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中文摘要 i
Abstract ii
誌謝 iii
目錄 iv
圖目錄 vi
表目錄 viii
第一章 簡介 1
第二章 迴力棒與迴旋陀螺圖 2
2-1 參數說明 2
2-2 撒點方式介紹 4
2-3 迴力棒圖 5
2-4 各晶粒數量(Diesize)迴旋陀螺圖 6
2-5 迴旋陀螺圖對稱性質(以BD=0.5為界) 7
2-6 迴旋陀螺圖二項性質 7
第三章 檢定式 8
3-1 二項分佈標準差 8
3-2 同母體檢定 9
3-3 良率均勻度檢定式 10
3-4 B-Score特性介紹 10
3-5 隨機性均勻度檢定式 11
第四章 均勻度檢定 12
4-1 實際資料各不良率區間占比 12
4-2 良率均勻性檢定 13
4-3 隨機性均勻度檢定 15
4-4 Wafer-to-Wafer (W2W) 檢定 18
4-5 檢定計算時間 29
第五章 結論 30
參考文獻 31
附錄 33
1-1 標準差與晶粒數量(Diesize)關係 33
1-2 橢圓模擬式 34
1-3 橢圓模擬式與二項分佈標準差相等推導 35
〔1〕 侯睿軒,「空間隨機樣態分類器的模型精化」,國立中央大學,碩士論文,民國108年。
〔2〕 吳雅軒,「分割晶圓圖分析以增強系統性錯誤的解析」,國立中央大學,碩士論文,民國107年。
〔3〕 曾聖翔,「應用隨機性與均勻性檢測輔助增強晶圓圖系統性錯誤之解析」,國立中央大學,碩士論文,民國107年。
〔4〕 黃昱凱,「晶圓圖群集隨機特徵加速運算核心」,國立中央大學,碩士論文,民國108年。
〔5〕 鄭育典,「晶圓圖群集參數分析之 C 語言加速運算核心」,國立中央大學,碩士論文,民國107年。
〔6〕 謝全禮,「晶圓圖群集特徵加速運算演算法」,國立中央大學,碩士論文,108年。
〔7〕 林敬儒,「空間隨機樣態分類器的識別」,國立中央大學,碩士論文,民國107年。
〔8〕 Jwu-E Chen, Mill-Jer Wang, Yen-Shung Chang, Shaw Cherng Shyu, and Yung-Yuan Chen, “Yield Improvement by Test Error Cancellation”, in Test Symposium (ATS), pp.258-260, Nov. 1996.
〔9〕 Ming-Ju Wu, Jyh-Shing Roger Jang, and Jui-Long Chen, “Wafer Map Failure Pattern Recognition and Similarity Ranking for Large-scale Data Sets”, IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, vol.28, no.1, pp.1-12, Feb. 2015.
〔10〕 林威沅,“Verification of B-score Randomness by Synthetic Random Wafer Maps and Application to Special Patterns”,國立中央大學,碩士論文,民國108年。
〔11〕 葉昱緯,“Application of Boomerang Chart to Real-World Mass Production Wafer Maps”,國立中央大學,碩士論文,民國105年。
〔12〕 蕭寶威,“Wafer Map Analysis from Random Distributed Defects”,國立中央大學,碩士論文,民國105年。
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