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研究生:

周韋辰

研究生(外文):

Chou, Wei-Chen

論文名稱:

內視鏡滅菌用射頻電漿源研製

論文名稱(外文):

Design and Implementation of RF Plasma Source for Endoscope Sterilization

指導教授:

吳財福

指導教授(外文):

Wu, Tsai-Fu

口試委員:

潘晴財、吳毓恩、林景源

口試日期:

2020-07-28

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

電機工程學系

學門:

工程學門

學類:

電資工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2020

畢業學年度:

108

語文別:

中文

論文頁數:

中文關鍵詞:

電漿、射頻電源供應器、Class-E、阻抗匹配、GaN、平板電感、13.56 MHz

外文關鍵詞:

Plasma、RF generator、Class-E、Load matching、GaN、Planar inductor、13.56 MHz

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