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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:練哲維
研究生(外文):LIEN,CHE-WEI
論文名稱:表面聲波諧振器的製作與特性分析
論文名稱(外文):Fabrication and Characteristics of Surface Acoustic Wave Resonator
指導教授:吳憲昌
指導教授(外文):WU,SIAN-CHANG
口試委員:吳憲昌蕭輔力陳光胤
口試委員(外文):WU,SIAN-CHANGHSIAO,FU-LICHEN,GUANG-YIN
口試日期:2021-01-12
學位類別:碩士
校院名稱:國立彰化師範大學
系所名稱:光電科技研究所
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2021
畢業學年度:109
語文別:中文
論文頁數:43
中文關鍵詞:表面聲波指叉電極布拉格反射器諧振器
外文關鍵詞:surface acoustic wavesinterdigital transducer(IDT)distributed Bragg reflector(DBR)resonator
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本論文探討表面聲波與布拉格反射電極對之間的傳輸行為。表面聲波主要是由指叉狀電極組成,藉由指叉狀電極可以互相轉換電訊號與聲波訊號。在交疊的指叉狀電極上施加交流電壓可以使在壓電材料上產生週期性的應力震波進而引發表面聲波;並在周圍製作由金屬帶組成的反射電極對。藉由觀察的中心頻率的吸收以研究布拉格反射電極對於表面聲波的共振行為。
基於基板特性,我們選用LiNbO3 128 ° X/Y cut作為基板並在其上製作指叉電極。我們藉由改變三種不同的指叉電極間距來觀察共振頻率的變化,量測所得的中心頻率與期望所預期的趨勢相符,也能明顯地看見布拉格反射電極的吸收頻率。
Research objective in this thesis is about the transmission between surface acoustic waves (SAW) and resonator which is constitute with distributed Bragg reflectors. The primary component in surface acoustic waves devices is the interdigital transducer (IDT), which converts power from the electrical to the acoustic domain and vice versa. The surface acoustic waves are produces by the two fingers electrodes which is be interdigitated so that alternating current voltage applied between the electrodes produces an oscillating strain wave on the surface of the piezoelectric material. There are two reflectors around interdigital transducer which are manufactured by several metal strip. We can realize resonance behavior by absorptivity of center frequency which is between resonator.
We manufacture interdigital transducer on the lithium niobate substrate which crystal cut axis is 128° because it’s characteristic for research. Here have three kind of samples which have different widths between finger and finger. The frequency trend varied as we had expected during three samples. And there have a clear dip in the absorption frequency spectrum.

Key word : surface acoustic waves (SAW), interdigital transducer (IDT), distributed Bragg reflector (DBR), resonator
摘要 I
Abstract II
誌謝 III
目錄 V
表目錄 VII
圖目錄 VIII
第一章 緒論 1
第一節 表面聲波的研究簡介 1
第二節 文獻回顧與研究動機 2
第二章 實驗原理介紹 5
第一節 壓電效應 5
第一小節 壓電材料 7
第二小節 壓電參數 8
第二節 聲能轉換器 9
第三節 表面聲波 10
第四節 布拉格反射電極 12
第三章 元件製程與高頻微波量測介紹 14
第一節 光學微影系統 14
第二節 電子束微影 17
第三節 熱蒸鍍系統 18
第四節 表面聲波諧振器與對位點製作流程 20
第一小節 高頻微波量測電極製作流程 21
第二小節 指叉電極與布拉格反射電極製作流程 25
第五節 向量網路分析儀 26
第六節 S參數(Scattering parameters) 27
第七節 樣品打線與樣品座 30
第八節 量測架設 32
第四章 量測結果與數據分析 35
第一節 室溫下反射係數頻率圖分析 35
第二節 品質因子與誤差分析 36
第五章 結論與未來工作 40
參考文獻 42
[1] R. M. White, and F. W. Voltmer, Direct piezoelectric coupling to surface elastic waves, Applied physics letters 7, p314-316, (1965)
[2] L. Rayleigh, On Waves Propagated along the Plane Surface of an Elastic Solid, Proceedings of the London Mathematical Society 17, p4-11, (1885)
[3] J. Ilukor, E. H. Jacobson, in Physical Acoustics, W. P. Mason eds, Academic, New york, 5, P211, (1972)
[4] A. Wallraff, D. Schuster, A. Blais, Strong coupling of a single photon to a superconducting qubit using circuit quantum electrodynamics, Nature 431, p162–167, (2004)
[5] Martin V. Gustafsson, Thomas Aref, Anton Frisk Kockum, Maria K. Ekström, Göran Johansson, Per Delsing, Propagating phonons coupled to an artificial atom, Science 346, p207-211, (2014)
[6] R. S. Weis, T. K. Gaylord, Lithium niobate: Summary of physical properties and crystal structure, Applied Physics A 37, p191-203, (1985)
[7] Campbell, C. (1998). Surface acoustic wave devices for mobile and wireless communications. Academic press.
[8] Shackelford, J. F. (1996). Introduction to materials science for engineers.
[9] Z. L. Wang, J. Song, Piezoelectric Nanogenerators Based on Zinc Oxide Nanowire Arrays, Science 312(5771), p242-246, (2006)
[10] G. S. Neugschwandtner, R. Schwödiauer, M. Vieytes, S. Bauer-Gogonea, S. Bauer, Large and broadband piezoelectricity in smart polymer-foam space-charge electrets, Applied Physics Letters 77, p3827-3829, (2000)
[11] Y. Guo, K. -i. Kakimoto, H. Ohsato, Phase transitional behavior and piezoelectric properties of (Na0.5K0.5)NbO3–LiNbO3 ceramics, Applied Physics Letters 85, p4121-4123, (2004)
[12] C. K. Campbell (1997), Surface Acoustic Wave Devices for Mobile and Wireless Communications, p31
[13] 圖片來源:https://en.wikipedia.org/wiki/Seismic_wave
[14] 圖片來源:https://zh.wikipedia.org/wiki/%E5%9C%B0%E9%9C%87%E6%B3%A2
[15] 陳啟東, 淺談微影蝕刻技術, 物理雙月刊21, p451-460, (1999)
[16] 黃仕泓, 柯正浩, 表面聲波感測器之前瞻研究, 物理雙月刊23, p512-518, (2004)
[17] 簡俊謙, 表面聲波元件之設計及其在寬頻震盪器之應用, 交通大學碩士論文, (2000)
[18] 王泰翔, 多層壓電結構表面聲波元件的參數萃取與邊界波之特性研究, 義守大學碩士論文, (2004)
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