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研究生:
劉昆霖
研究生(外文):
Liou, Kun-Lin.
論文名稱:
以16 奈米鰭式場效電晶體與三維奈米結構感測 薄膜開發新穎多重離子感測器之研究
論文名稱(外文):
Novel Multi-Ion Detector by 3D Nanostructure Sensing Membrane and 16 nm FinFET CMOS Technology
指導教授:
金雅琴
、
闕郁倫
指導教授(外文):
King, Ya-Chin
、
Chueh, Yu-Lun
口試委員:
葉文冠
、
謝光宇
口試委員(外文):
Yeh, Wen-Kuan
、
Hsieh, Kuang-Yu
口試日期:
2020-08-05
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
電子工程研究所
學門:
工程學門
學類:
電資工程學類
論文種類:
學術論文
論文出版年:
2020
畢業學年度:
109
語文別:
英文
論文頁數:
72
中文關鍵詞:
離子
、
感測器
、
鰭式場效電晶體
、
耦合
、
靈敏度
、
氧化鋁
、
懸浮鍵
外文關鍵詞:
ion
、
sensor
、
FinFET
、
coupling ratio
、
sensitivity
、
calix[4]arene
相關次數:
被引用:0
點閱:313
評分:
下載:0
書目收藏:0
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