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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:蔡慧學
研究生(外文):TSAI,HUI-HSUEH
論文名稱:應用8D於半導體設備故障排除之研究
論文名稱(外文):The Study of Application of 8D to Troubleshoot Semiconductor Equipment Failures
指導教授:廖麗滿廖麗滿引用關係
指導教授(外文):LIAO,LI-MAN
口試委員:黃喬次蔡登茂
口試委員(外文):HUANG,CHIAO-TZUTSAI,DENG-MAW
口試日期:2023-06-26
學位類別:碩士
校院名稱:國立勤益科技大學
系所名稱:工業工程與管理系
學門:工程學門
學類:工業工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2023
畢業學年度:111
語文別:中文
論文頁數:63
中文關鍵詞:尾氣處理設備快速反應品質量控制8D問題解決法SDCA循環
外文關鍵詞:Local ScrubberQRQC8 DisciplineSDCA Cycle.
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針對半導體公司的製程尾氣處理設備氣體外洩異常事件進行個案分析,根據設備當下的相關數據進行描述,運用快速反應品質量控制(Quick Response Quality Control, QRQC)管理方式與8D問題解決法(Eight Disciplines Problem Solving),重新規劃設備故障導致氣體外洩之改善步驟,最後利用SDCA(Standardization Do Check Action)管理循環,將設備故障排除與改善方法進行標準化,藉此穩定設備故障改善後的半導體製程,使其達到積極性預防設備故障再次的發生。
結合QRQC、8D和SDCA循環提出了三階段共11項改善步驟,第一階段為QRQC改善階段,包含確認製程檢測結果、描述問題、問題分類與決定主要問題等三個步驟;第二階段為8D改善階段,包含提出暫行性措施、成因調查、執行對策、確認執行與解決方案效果等四個步驟;第三階段為SDCA循環階段,包含標準化、執行、檢查、總結共等四個步驟,並將11項改善步驟導入本研究設備氣體外洩問題的個案中,藉此找出造成設備氣體外洩問題的根本原因,並提出與執行改善對策,最後確認改善前後之效果。
根據研究結果顯示,此改善程序成功解決洗滌器無法運行、管路阻塞、電磁閥損壞和作業管理缺失等明顯造成設備氣體外洩的根本原因。洗滌器運行方面,使原本每月平均需要2次解決洗滌器無法運行相關異常問題降低為1次;管路阻塞處理方面,由原來兩個月需要清理一次管路改善為四個月一次;電磁閥損壞從每月平均發生5次降低為每月平均不到1次;作業管理缺失也從每月平均3件降低為平均不到1件,這些措施成功減少了設備氣體外洩問題的發生,所需耗費的維護成本與停機檢修時間也在改善後大幅下降,有效降低生產中的問題和成本,也大大提升了環保效益、半導體生產效率及經濟效益,提升企業競爭力的目標。

In complex semiconductor manufacturing processes, when issues arise with the exhaust gas treatment equipment, it is important not only to quickly and effectively identify the root cause of the problem and propose effective solutions but also to prevent further equipment failures or abnormalities. Therefore, this study combines QRQC, 8D, and SDCA cycles to propose 11 improvement steps and conduct a case analysis on abnormal gas leakage events in the exhaust gas treatment equipment.
Combining QRQC, 8D, and SDCA cycles, a three-stage, 11-step improvement process was proposed. The first stage is the QRQC improvement stage, consisting of three steps: confirming process inspection results, describing the problem, and classifying and determining the main issue. The second stage is the 8D improvement stage, comprising four steps: proposing interim measures, conducting root cause investigation, executing countermeasures, and verifying the effectiveness of the solutions. The third stage is the SDCA cycle stage, including four steps: standardization, execution, inspection, and summary. These 11 improvement steps were applied to a case study involving equipment gas leakage issues to identify the root causes and implement improvement measures. The effectiveness of the improvements was then confirmed.
According to the research results, this improvement process successfully resolved the root causes of equipment gas leakage, such as the inability of the scrubber to operate, pipeline blockages, electromagnetic valve damage, and operational management deficiencies. Regarding scrubber operation, the frequency of related abnormalities requiring resolution reduced from an average of 2 times per month to 1 time. Pipeline blockages improved from requiring cleaning every two months to every four months. The average occurrences of electromagnetic valve damage decreased from 5 times per month to less than 1 time. Additionally, operational management deficiencies reduced from an average of 3 occurrences per month to less than 1 occurrence. These measures effectively reduced the occurrence of equipment gas leakage issues, leading to significant decreases in maintenance costs and downtime for inspection and repair. This resulted in a notable reduction in problems and costs during production, while enhancing environmental sustainability, semiconductor manufacturing efficiency, and overall economic benefits, achieving the goal of enhancing the company's competitiveness.
中文摘要 i
ABSTRACT ii
致謝 iv
目錄 v
表目錄 vii
圖目錄 viii
第一章 緒論 1
1.1研究動機 1
1.2研究目的 3
1.3研究範圍與流程 4
第二章文獻探討 6
2.1半導體製程尾端廢氣處理相關文獻 6
2.1.1半導體廠製程尾氣分類與危害特性 6
2.1.2半導體廠製程尾氣處理設備 10
2.2 QRQC相關文獻 11
2.3 8D相關文獻 14
2.4 SDCA相關文獻 18
第三章個案介紹與研究方法 21
3.1個案與設備介紹 21
3.1.1個案說明 21
3.1.2設備介紹 22
3.1.3尾氣處理設備運作原理 24
3.2個案改善推動流程 26
第四章個案分析與改善成效 31
4.1個案現況分析 31
4.2個案分析之 QRQC 改善階段 35
4.2.1步驟1:確認製程檢驗結果 36
4.2.2步驟2:問題描述 37
4.2.3步驟3:問題分類與決定主要問題 47
4.3個案分析之8D改善階段 48
4.3.1步驟4:提出暫行性措施 48
4.3.2步驟5:成因調查 48
4.3.3步驟6:執行對策 49
4.3.4步驟7:確認執行與解決方案效果 52
4.4個案分析之SDCA循環改善階段 53
4.4.1步驟8:標準化 53
4.4.2步驟9:執行 53
4.4.3步驟10:檢查 53
4.4.3步驟11:總結 53
4.5個案分析之改善效益個案分析之改善效益 54
第五章 結論與建議結論與建議 58
5.1結論結論 58
5.2未來改善建議未來改善建議 59
參考文獻 61
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電子全文 電子全文(網際網路公開日期:20280727)
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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