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研究生:

王良嘉

研究生(外文):

Wang, Liang-Jia

論文名稱:

濺鍍Ti-7.5Mo合金薄膜應用在電容式微機電壓力感測器之潛力

論文名稱(外文):

Potential Assessment of Sputtered Ti-7.5Mo Alloy Thin Film for Capacitive MEMS Pressure Sensor Application

指導教授:

朱建平

、陳瑾惠

指導教授(外文):

Ju, Chien-Ping、Chern, Jiin-Huey

口試委員:

張高碩、朱建平、陳瑾惠

口試委員(外文):

Chang, Kao-Shuo、Ju, Chien-Ping、Chern, Jiin-Huey

口試日期:

2023-07-18

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立成功大學

系所名稱:

材料科學及工程學系

學門:

工程學門

學類:

材料工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2023

畢業學年度:

111

語文別:

中文

論文頁數:

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電子全文(網際網路公開日期：20280803)

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