用於振動監測系統模組之氮化鋁微機電加速度計與介面電路設計及實作_

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研究生:

衛星

研究生(外文):

Singh, Somnath

論文名稱:

用於振動監測系統模組之氮化鋁微機電加速度計與介面電路設計及實作

論文名稱(外文):

AlN-MEMS Accelerometer and Interface Circuit Design for Vibration Monitoring System Module

指導教授:

李昇憲

指導教授(外文):

Li, Sheng-Shian

口試委員:

方維倫、盧向成、梁凱智

口試委員(外文):

Fang, Wei-Leun、Lu, Shiang-Cheng、Liang, Kai-Chih

口試日期:

2023-01-11

學位類別:

碩士

校院名稱:

國立清華大學

系所名稱:

奈米工程與微系統研究所

學門:

工程學門

學類:

材料工程學類

論文種類:

學術論文

論文出版年:

2023

畢業學年度:

111

語文別:

英文

論文頁數:

174

中文關鍵詞:

三軸危機電加速度計、氮化鋁 (AlN) 壓電材料、錐形樑設計、傳統設計、半圓形切割梁設計、膜型設計、溝槽膜型設計、電壓放大器、電荷放大器、差分放大器、三階低通濾波器、TINA 軟件、PCB 設計、PCB 表面漏電流、保護環、Altium 設計軟件、系統級開發、STM32、Cortex-M3、嵌入式編程、VMS 模塊

外文關鍵詞:

3-axis MEMS Accelerometer、Aluminum Nitride (AlN) Piezoelectric Material、Tapered Beam Design、Conventional Design、Semicircular Cut Beam Design、Membrane Type Design、Trench-Membrane Type Design、Voltage Amplifier、Charge Amplifier、Differential Amplifier、3rd-Order Lowpass Filter、TINA Software、PCB Design、PCB Surface Leakage Current、Guard Ring、Altium Design Software、System Level Development、STM32、Cortex-M3、Embedded Programming、VMS-Module

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電子全文(網際網路公開日期：20250205)

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