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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:郭玄祥
研究生(外文):KUO, HSUAN-HSIANG
論文名稱:應用田口法於流量參數最佳化
論文名稱(外文):Application of the Taguchi Method for Flow Parameter Optimization
指導教授:羅致卿
指導教授(外文):LO, CHIH-CHING
口試委員:羅致卿林孟儒黃宗立
口試委員(外文):LO, CHIH-CHINGLIN, MENG-JUHWAN, CHUNG-LI
口試日期:2024-03-08
學位類別:碩士
校院名稱:逢甲大學
系所名稱:智能製造與工程管理碩士在職學位學程
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2024
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:40
中文關鍵詞:田口方法晶圓傳送盒氣體流量
外文關鍵詞:Taguchi MethodFront Opening Unified PodFlow Rate
相關次數:
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半導體晶圓製程中,晶圓傳送盒內的氣體流量表現取決於設備本身影響與各個元件的參數設定,為了使生產過程中能有更穩定的流量,本研究採用田口方法分析元件調整參數對製程流量的影響,進而得到最佳化參數,使晶圓在製程過程中內能持續維持穩定的流量,進而增加良率。
本研究中的品質指標為氣體流量(望目 = 100 Lpm),參數組合包含正壓、負壓、管徑、及管路材質。經由實驗分析及驗證後,得到的最佳化參數組合為:正壓 = 250 kPa、負壓 = -1 kPa、管徑 = 1/4 inch、管路材質=聚乙烯 (PE)。相較於原始參數的結果(流量平均值 = 99.645 Lpm,誤差為0.368 Lpm),最佳化參數組合的結果(流量平均值 = 100.013 Lpm,誤差只有0.013 Lpm),很明顯地改善流量的穩定品質。

In the semiconductor wafer manufacturing process, the performance of gas flow inside the Front Opening Unified Pod (FOUP) depends on the influence of the equipment itself and the parameter settings of each component. In order to achieve a more stable flow during the production process, this study uses the Taguchi method to analyze the effect of component adjustment parameters. The influence of the process flow rate is then obtained, and the optimized parameters are obtained so that the wafer can continue to maintain a stable flow rate during the process, thereby increasing the yield rate.
The quality index in this study is gas flow (target= 100 Lpm), and the parameter combination includes positive pressure, negative pressure, pipe diameter, and pipe material. After experimental analysis and verification, the optimal parameter combination obtained is: positive pressure= 250 kPa, negative pressure = -1 kPa, pipe diameter = 1/4 inch, pipe material = polyethylene (PE). Compared with the results of the original parameters (average flow rate = 99.645 Lpm, error 0.368 Lpm, the result of the optimized parameter combination (average flow rate = 100.013 Lpm, error only 0.013 Lpm, significantly improves the stable quality of the flow rate.

誌 謝 i
摘 要 ii
ABSTRACT iii
目 錄 iv
圖目錄 vi
表目錄 vii
第一章 緒論 1
1.1 前言 1
1.2 研究動機與目的 2
1.3 文獻回顧 4
1.4 本文研究架構 5
第二章 研究理論與方法 6
2.1 田口實驗方法 6
2.2 晶圓盒傳載淨化系統 10
第三章 研究設計與實施 14
3.1 實驗流程 14
3.2 實驗架構 15
3.3 實驗方法與步驟 17
第四章 實驗結果與分析 21
4.1 實驗結果 21
4.2 數值分析 23
4.3 最佳參數及實驗驗證 25
第五章 結論與未來展望法 27
5.1 結論 27
5.2 未來展望 27
參考文獻 29


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