跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(44.200.194.255) 您好!臺灣時間:2024/07/23 04:37
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:陳芊伃
研究生(外文):Chien-Yu Chen
論文名稱:新建晶圓圖相似性門檻以強化相似程度辨別能力
論文名稱(外文):Enhancing the Ability of Recognizing Similar Wafer Maps with New Similarity Thresholds
指導教授:陳聿廣梁新聰梁新聰引用關係
指導教授(外文):Yu-Guang ChenHsing-Chung Liang
學位類別:碩士
校院名稱:國立中央大學
系所名稱:電機工程學系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2024
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:65
中文關鍵詞:晶圓圖相似性分析相似性門檻
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:12
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
在本篇論文中,我們分析台積電WM-172K晶圓資料庫所有LOT內含晶圓之間的相似性。我們使用相似性公式來計算相似性數值,該數值反映兩片晶圓的相似程度。接著,我們定義相似性門檻,也就是判斷是否相似的參考數值。
在建立相似性門檻時,我們考慮良率和晶片尺寸兩個因素,建立兩個新的相似性門檻,加上過去的一個門檻,我們使用這些門檻會找到LOT中不同的相似晶圓集合。此外,我們還定義了絕對相似,即在同一批次內找出互相完全相似的一組晶圓圖像。
最後討論相似性門檻在真實晶圓圖上分析應用的部分,選擇實驗的對象為某公司提供的真實晶圓資料集,我們透過相似性門檻和chamber表格檢測,找出每一批次中具有相似的特徵及關連,快速判斷chamber效應存在與否以及發生位置,提早找出異常機台,
達到提高生產效率及良率。
通過相似性的分析,我們可以判別晶圓間的相似程度,如此可以提供協助判斷晶圓發生的錯誤樣態與問題。
In this paper, we analyze the similarities between wafers within the TSMC WM-172K wafer database. We employ a similarity formula to calculate similarity values, which reflect the degree of similarity between two wafers. Next, we establish a similarity threshold, which serves as a reference value for determining whether wafers are similar.

When establishing the similarity threshold, we consider two factors: yield and chip size. We create two new similarity thresholds in addition to the previous one. Using these thresholds, we identify sets of dissimilar wafers within a lot. Furthermore, we define absolute similarity, meaning finding a group of wafers that are identical within the same batch.

Finally, we discuss the practical application of similarity thresholds on actual wafer images. We select the real wafer data set provided by a certain company as the object of the experiment. We use similarity threshold and chamber table to identify batches with similar characteristics and relationships, rapidly determining the presence and location of chamber effects, and early detecting anomalous machines. This leads to improved production efficiency and yield.

Through the analysis of similarity, we can assess the degree of similarity between wafers, aiding in the identification of error patterns and issues that occur within wafers.
中文摘要 i
Abstract ii
致謝 iii
目錄 iv
圖目錄 vi
表目錄 viii
第一章 緒論 1
1-1 前言 1
1-2 研究動機 2
1-3 研究方法 3
1-4 論文架構 4
第二章 預備知識 5
2-1文獻探討 5
2-2相似性判定公式 7
2-3相似度排名 10
第三章 相似性門檻建立以及分析 13
3-1 相似性數值圖表 13
3-2 相似性門檻建立及分類統計 14
3-3 相似性門檻實驗分析 17
3-3-1 func 1>func 2>func 3 17
3-3-2 func 1>func 2=func 3 19
3-3-3 func 1=func 2>func 3 21
3-3-4 func 1=func 2=func 3 23
3-3-5 func 1、func 2 和 func 3 皆可分群且群數相同 29
3-3-6 func 1 可分為兩群,func 2 和 func 3 只能分為一群 34
3-4 絕對相似定義及實驗分析結果 36
3-4-1絕對相似定義及分布統計 36
3-4-2 C_2^2全都相似 37
3-4-3 C_2^3全都相似 38
3-4-4 C_2^4全都相似 39
3-4-5 C_2^5全都相似 40
3-5 相關文獻比較說明 41
第四章 相似性門檻實驗結果 42
4-1 晶圓製造流程 42
4-2 固定defect與chamber定義 43
4-3 實驗流程框架設計 45
4-3-1 實驗流程 45
4-3-2 Classify 48
4-3-3 Fixedpoint detect 49
4-3-4 Chamber effect detect 50
4-4 相似性門檻之真實晶圓應用結果 51
第五章 結論 54
參考文獻 55
[1] Ming-Ju Wu, Jyh-Shing R. Jang, and Jui-Long Chen, “Wafer map failure pattern recognition and similarity ranking for large-scale data sets”, IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Vol. 28, No. 1, pp.1-12, Feb. 2015.
[2] CORTES, Corinna; VAPNIK, Vladimir, “Support-vector networks”, Machine learning, Vol. 20, pp.273-297, 1995.
[3] Chung-Shou LIAO, et al. “Similarity searching for defective wafer bin maps in semiconductor manufacturing”, IEEE Transactions on Automation Science and Engineering, Vol. 11, No. 3, pp.953-960, July 2014.
[4] Rui Wang and Songhao Wang, “Tensor Voting Based Similarity Matching of Wafer Bin Maps in Semiconductor Manufacturing”, 2022 5th International Conference on Data Science and Information Technology (DSIT). IEEE, 6 pages, 2022.
[5] Chia-Jui Wen, Jwu-E Chen, “Application of Similarity Cluster Analysis to the Real-world Wafer Lots”, National Central University, Taoyuan, Taiwan (R.O.C.), Oct. 2021.
[6] Han Wei Huang, Jwu-E Chen, “Application of Similarity Threshold for Lot Analysis to Real-world Wafer Maps”, National Central University, Taoyuan, Taiwan (R.O.C.), Aug. 2022.
[7] Jea-Hoon LEE, Il-Chul MOON, and Rosy OH. “Similarity search on wafer bin map through nonparametric and hierarchical clustering”, IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing, Vol. 34, No. 4, pp.464-474, 2021.
[8] Chang Xu, Qi-Shi Shi, and Ping-fen Shi, “A Novel Wafer-Map Similarity Search System with High Speed and Accuracy”, in Proc. 2021 China Semiconductor Technology International Conference (CSTIC), 3 pages.
[9] Ray Lung, 2022
連結至畢業學校之論文網頁點我開啟連結
註: 此連結為研究生畢業學校所提供,不一定有電子全文可供下載,若連結有誤,請點選上方之〝勘誤回報〞功能,我們會盡快修正,謝謝!
QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top