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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:李京穎
研究生(外文):Lee, Ching-Yin
論文名稱:複合式高功率脈衝磁控濺鍍法及陰極電弧沉積法製備(AlCrNbSiTi)N/TiN多層膜之結構與性質探討
論文名稱(外文):A study on microstructures and properties of (AlCrNbSiTi)N/TiN multilayer nitride films deposited by the hybrid system of HiPIMS and CAD techniques
指導教授:葉均蔚林樹均
指導教授(外文):Yeh, Jien-WeiLin, Su-Jien
口試委員:洪建龍曹春暉蔡哲瑋
口試委員(外文):Horng, Jian-LongTsau, Chun-HueiTsai, Tse-Wei
口試日期:2023-08-11
學位類別:博士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程學系
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2023
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:249
中文關鍵詞:高功率脈衝磁控濺鍍陰極電弧沉積多層膜高熵薄膜硬質薄膜附著度
外文關鍵詞:High power impulse magnetron sputteringCathodic arc depositionMultilayerHigh-entropy thin filmHard coatingAdhesion
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