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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:林祐安
研究生(外文):Lin, You-An
論文名稱:超材料完美吸收體整合CMOS MEMS熱電式感測器用於無濾波片非色散性紅外光氣體感測
論文名稱(外文):Integration of Metamaterial Perfect Absorber with CMOS-MEMS Thermoelectric Sensor for Filter-less Non-dispersive Infrared Gas Sensing
指導教授:嚴大任
指導教授(外文):Yen, Ta-Jen
口試委員:方維倫陳哲勤
口試委員(外文):Fang, Wei-LeunChen, Che-Ching
口試日期:2023-10-11
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:材料科學工程學系
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2023
畢業學年度:112
語文別:英文
論文頁數:87
中文關鍵詞:超材料完美吸收體半導體製程微機電熱電式感測器無濾波片氣體感測非分散性紅外線感測三明治結構
外文關鍵詞:MetamaterialPerfect absorberCMOSMEMSThermoelectric sensorFilter-lessGas sensingNon-dispersive Infrared sensingMIM sandwich structure
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