跳到主要內容

臺灣博碩士論文加值系統

(44.192.94.177) 您好!臺灣時間:2024/07/21 22:26
字體大小: 字級放大   字級縮小   預設字形  
回查詢結果 :::

詳目顯示

我願授權國圖
: 
twitterline
研究生:楊文宏
研究生(外文):YANG, WEN-HONG
論文名稱:新型二維微動平台之設計
論文名稱(外文):A New Designed 2-D Micropositioning Stage
指導教授:林世聰林世聰引用關係陳朝榮陳朝榮引用關係
指導教授(外文):LIN, SHI-CONGCHEN, CHAO-RONG
口試委員:林世聰陳朝榮秦定江
口試委員(外文):LIN, SHI-CONGCHEN, CHAO-RONGQIN, DING-JIANG
口試日期:2002-07-15
學位類別:碩士
校院名稱:國立臺北科技大學
系所名稱:光電工程系
學門:工程學門
學類:電資工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2024
畢業學年度:112
語文別:中文
論文頁數:50
中文關鍵詞:N/A
外文關鍵詞:N/A
相關次數:
  • 被引用被引用:0
  • 點閱點閱:4
  • 評分評分:
  • 下載下載:0
  • 收藏至我的研究室書目清單書目收藏:0
在我們研究裡的二維微動平台有很多優點,例如無齒隙、黏滯-滑動的現象, 而且可以平滑、連續的移動來達到精密定位。此平台先經由相關公式與經驗設 計出剛性、最大應力、共振頻率等特性符合我們所需要的要求,再將不銹鋼塊 經由線切割,一體成型製成此雙複合式的撓性機構。
利用有限元素分析軟體 ANSYS、相關實驗與理論推導,是可以驗證此平台特性的好方法,透過它們之後,知道擁有 884 μm 行程的移動平台在 116 Hz 與 200 Hz 會產生 Z 與 Y 方向的共振,這些結果十分符合當初設計此平台的期望。

A 2-D micropositioning stage with the advantages of negligible backlash, negligible stick-slip friction, and smooth and continuous displacement is developed in this study. The moving mechanism of this stage is a double compound monolithic spring whose governing equations corresponding to the properties of stiffness, maximum stresses, and resonance frequency are derived and adopted to design the stage.
Finite element method (ANSYS) and some experiments are adopted to calculate and determine the properties of the designed and fabricated stages respectively. The 884 μm micropositioning stage has a resonance frequency of 116 Hz in the Z direction and 200 Hz in the X direction. The results agree the validity of the derived equations.

摘要 iv
誌謝 vi
目次 vii
表目錄 viii
圖目錄 ix
第一章 緒論 1
1.1 前言 1
1.2 文獻回顧 1
1.2.1 微動平台 1
1.2.2 有限元素法 2
1.3 研究目的與內容 3
第二章 微動平台介紹 5
2.1 微動平台 5
2.2 致動裝置 5
2.3 結構設計 8
第三章 實驗與理論推導 12
3.1 振動頻率量測 12
3.1.1 加速規與訊號分析儀 12
3.1.2 實驗 14
3.1.3 振動結果 17
3.2 角度量測 18
3.2.1 自動視準儀 18
3.2.2 實驗 19
3.2.3 角度結果 20
3.3 剛度理論推導 21
3.4 共振理論推導 24
第四章 有限元素分析 30
4.1 分析項目 30
4.2 模型建構 31
4.3 分析結果 36
4.4 分析探討 45
第五章 研究整理與結論 47
5.1 研究整理 47
5.2 結論 49
參考文獻 50

1.高至均、汪建民,壓電陶瓷縱橫談,材料與社會,No. 26, February 1989.
2.J. M. Paros and L. Weisbord, “How to design FLEXURE HINGES,”
MACHINE DESIGN, November 25, 1965, pp. 151-159.
3.S. T. Smith, D. G. Chetwynd, “Foundations of Ultraprecision Mechanism Design,” McGraw-Hill Book Company, 1989.
4.Tanaka, M., “The dynamic Properties of Monolithic Mechanism with Notch Flexure Hinges for Precision Control of Orientation and Position,” Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 22, No. 1, 1983, pp.193-200.
5.Hara, A. And Sugimoto, K., “Synthesis of Parallel Micromanipulators,”
ASME Journal of Mechanisms, Vol. 49, No. 12, 1978, pp.1735-1740.
6.Her, I. and Chang, J. C., “A Linear Scheme for the Displacement Analysis of Micropositioning Stages with Flexure Hinges,” ASME Trans., Journal of Mechanical Design, Vol. 116, No. 3, 1994, pp.770.776.
7.賴育良、林啟豪、謝忠祐,電腦輔助工程分析,儒林圖書公司,民 87 年。
8.吳朗,電子陶瓷入門,全欣資訊圖書,民 81 年。
9.Jae W. Ryu and Dae-Gab Gweon, “Error analysis of a flexure hinge mechanism induced by machining imperfection,” Precision Engineering, Vol. 21, 1997, pp. 83-89.
10.D. M. MARSH, “The construction and performance of various flexure hinges,” J. SCI. INSTRUM., Vol. 39, 1962, pp. 493-497.
11.G. W. C. KAYE and T. H. LABY, “Tables of Physical Chemical Constants and some Mathematical Functions,” Long London and New York, 1986, pp. 1-35.
12.徐業良,機械設計,全華科技圖書股份有限公司,民 86 年.
13.林宸生、陳億成、林文豐,實用精密量測與機件檢驗,全欣科技圖書,民
84 年。
14.S.F. Krar, J.W. Oswald, J.E. St. Amand, “Technology of Machine Tools,” New York: Gregg Division, McGraw-Hill, 1984.
15.ERWIN KREYSZIG, “ADVANCED ENGINEERING MATHEMATICS,”
John Wiley & Sons, Inc., 1993.
16.葉賢基,次奈米雷射測長與次奈米即時定位控制之研究,清華大學物理研究所博士論文,民 87 年。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
第一頁 上一頁 下一頁 最後一頁 top