臺灣博碩士論文加值系統

摘要 i
ABSTRACT iii
誌謝 v
目錄 vi
表目錄 ix
圖目錄 x
1 第一章 緒論 1
1.1 研究背景與動機 1
1.2 潔淨室 2
1.2.1 潔淨室定義 2
1.2.2 潔淨度之分級範圍 3
1.2.3 潔淨室之種類分類 4
1.3 設備前端模組 7
1.3.1 微環境 (Mini-Environment) 8
1.3.2 晶圓卸載機組 9
1.3.3 晶圓傳送盒 9
1.4 前端模組流場 12
1.5 層流氣簾裝置簡介 15
1.6 氣態分子汙染物 16
1.7 研究目的 18
2 第二章 文獻回顧 19
3 第三章 實驗方法 23
3.1 實驗環境 23
3.1.1 潔淨空調實驗室 23
3.1.2 設備前端端模組 24
3.2 實驗設備與儀器 25
3.2.1 實驗之晶圓傳送盒 25
3.2.2 潔淨壓縮乾空氣系統 ( Clean Dry Air, CDA ) 25
3.2.3 風扇過濾機組 ( Fan Filter Unit ) 26
3.2.4 質量流量控制器 ( MFC ) 27
3.2.5 濾網型氣簾裝置 27
3.2.6 示蹤液體 28
3.2.7 雷射掃略成像系統 29
3.2.8 影像紀錄設備 31
3.2.9 溫溼度計 33
3.2.10 轉速計 34
3.2.11 溫濕度感測器 34
3.2.12 樹梅派 4B型 35
3.3 傾斜氣流實驗 38
3.3.1 實驗系統圖 38
3.3.2 示蹤液體釋放手法 41
3.3.3 大面積流場可視化 44
3.3.3.1 理論分析 44
3.3.3.2 傾斜氣流流場可視化實驗流程 45
3.3.3.3 粒子影像測速技術(Particle Image Velocimetry) 49
3.4 相對濕度實驗方法 50
3.4.1 晶圓盒開門時水氣入侵實驗流程 51
3.5 實驗架構 53
4 第四章 結果與討論 57
4.1 流場可視化與濕度實驗結果 57
4.1.1 Purge Flow Rate:130 LPM-Slot 1 @ 0.3m/s 0° 58
4.1.2 Purge Flow Rate:130 LPM-Slot 1 @ 0.3m/s 15° 60
4.1.3 Purge Flow Rate:130 LPM-Slot 1 @ 0.3m/s 30° 66
4.1.4 Purge Flow Rate:130 LPM-Slot 1 @ 0.4m/s 0° 71
4.1.5 Purge Flow Rate:130 LPM-Slot 1 @ 0.4m/s 15° 73
4.1.6 Purge Flow Rate:130 LPM-Slot 1 @ 0.4m/s 30° 78
5 第五章 結論與建議 83
5.1 結論 83
5.2 未來建議 84
6 參考文獻 85

6參考文獻
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