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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:潘宏穎
研究生(外文):Pan Hong Ying
論文名稱:柴氏法單晶成長之數值模擬
論文名稱(外文):Numerical Simulation of Czochralski Crystal Growth
指導教授:李雄略李雄略引用關係
指導教授(外文):Lee Shong Leih
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:動力機械學系
學門:工程學門
學類:機械工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:1996
畢業學年度:84
語文別:中文
中文關鍵詞:柴氏法數值模擬
外文關鍵詞:Czochralski Methodnumerical simulation
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在電子產業中,柴氏法(Czochralski method)是被廣泛應用在生產半導體
晶體的重要方法,因為此方法生產出來的晶體為單晶的晶格排列,如矽的
鑽石結構,較不易發生斷裂的現象,故能大量生產。而液體覆蓋式柴氏長
晶法(LEC) 主要用在生產三、五價的化合物,例如砷化鎵,其方法是在柴
氏法中多加了一層覆蓋在晶體熔液上的液體。而在這方面研究大多採用實
驗的方法,由於整個成長過程為高溫且不易觀察,所以長晶過程中常發生
斷裂或remelt的現象;若能藉由數值方法模擬整個成長的過程,非但能增
加我們對柴氏長晶法的了解,並能找出最佳的成長環境來幫助研發設計。
本文是建立在Lagrangian觀點上,使用有限差分法來模擬長晶過程;在能
量上的考量,整個區域內,外加一磁場使得對流的效應可以忽略,故在區
域中是以熱傳導為主,並且在液固界面、熔液與覆蓋層之界面上,考慮熱
輻射的散熱;在外型的計算上,是利用Young-Laplace equation及體積守
恆來算出meniscus曲面,而晶體外型隨時間之變化是以成長線與接觸角的
幾何關係求得;研究結果得知,晶體外型的變化與接觸角有相當大的關係
,所以接觸角的精準計算是很重要的,也就是說要能精確的算出凹面
(meniscus)曲線,才能完全模擬整個長晶過程。

QRCODE
 
 
 
 
 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                               
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