臺灣博碩士論文加值系統

本論文的研究目的乃在於設計一套監控系統，以用於薄膜厚度沈積的量測與控制，使操作者可以經由個人電腦的視窗(Windows)圖形介面來監控整個作業流程，並簡化學習操作儀器的時間。在文中，主要的研究部份為膜厚測定的探討。由於此方面的儀器皆由國外所進口而且價格高昂，但是膜厚的控制對於薄膜的特性又有極大的影響，故此一研究方向即朝設計一硬體介面、配合物件導向的Visual Basic程式設計，用來取代目前系統所使用膜厚量測儀器，以做薄膜的厚度的測定。
完成後的膜厚監控系統可以很方便地與電腦的資料庫連結，對鍍著的參數作設定儲存，並且可以複製相同的硬體介面卡，做日後系統的擴充。配合附加的電熱功率控制和閥門開關流程控制，將可使整個的系統達到全自動化的目的。

The purpose of this research is to develop a monitor controller system in order to measure the sediments’ thickness of the film. It not only helps operators to simply govern the whole process through the Window-based G.U.I. (Graphic User Interface), but also shortens users’ time in learning use this instrument.
The major research concentrates on the measuring technique of the Metal-film Thickness. Since this kind of instruments are imported from overseas and are priced dearly, and the associated thickness controller greatly affects the characteristics of the film. Therefore, the final purpose of this research is to design a concrete system, which contains the hardware interface card and software program developed using the object oriented programming language , Visual Basic,VB, to measure the thickness of the film and to replace the common Metal-film Measuring Instruments.
The completed thickness monitor controller system could be easily linked with the database of the personal computer, could set and store the parameter of the film, and could be copied to make the same hardware interface card in order to extend this system for later days. Combining with the power control of electric heater and vent control of sequence, this system will reach the aim, a fully automatic film monitor.

第一章 緒論
1.1研究背景與動機
1.2 研究目的
1.3研究的範圍與限制
1.4文獻探討
1.5論文的架構與流程
第二章真空蒸鍍膜厚量度原理
2.1膜厚定義說明
2.2膜厚量度方法說明
2.2.1 形狀的膜厚測定
2.2.2 物性膜厚測定法
2.2.3 質量膜厚測定法
2.3石英晶體膜厚量測法
2.3.1石英晶體的特性
2.3.2微小質量沈積下頻率與質量的線性關係
2.3.3 延伸質量與頻率的線性關係
2.3.4石英振盪子量測薄膜質量的通用公式
第三章 膜厚監控器之結構說明
3.1頻率計數器理論
3.1.1 頻率量測方法的選定
3.1.2 誤差的測定
3.1.3 復位電路
3.2膜厚監控器的介面電路
3.2.1膜厚監視器
3.2.2膜厚控制電路
3.2.3 膜厚控制卡成品
3.3膜厚監控系統的程式設計
3.3.1 程式架構的規劃
3.3.2 膜厚監視器程式設計
3.3.3 電熱功率控制程式
3.3.4 自動抽氣控制程式
3.3.5 圖形化的監控界面
第四章系統測試與討論
4.1實驗的流程規劃
4.2實驗結果
4.3實驗結果討論
第五章結論與建議
5.1結論
5.2建議與未來的展望
附錄
A膜厚控制器CRTM-5000
B應用於薄膜材料的各種物質振動阻抗
C輪廓測定儀Alpha-Step 500
D膜厚監控程式使用說明

1. 鄭文騰，小型真空蒸鍍系統設計研製研究，台北科技大學機電整合研
究所碩士論文，八十七年六月。
2. ULVAC JAPAN, Ltd. “model crtm-5000 deposition controller
instruction manual” 1988.
3. 呂登復，實用真空技術，國興出版社，民國八十二年。
4. 蘇青森，真空技術，東華書局，民國八十五年。
5. 賴耿陽 譯，薄膜製作工藝學，復漢出版社，民國八十三年。
6. 賴耿陽 譯，真空蒸著應用技術，復漢出版社，民國八十三年。
7. C. Lu and A. W. Czanderna “Applications of piezoelectric
quartz crystal microbalances” Santa Clara, California
Lakewood, Colorado (1983), pp.2-61.
8. G. Z. Sauerbrey, Phys. Verhandl., 8 (1957).
9. G. Z. Sauerbrey, Z. Phys., (1959).
10.K. H. Behrndt, Trans. 7th Nat. Vacuum Symp., (1960),
Pergamon Press, London,(1961), pp.137.
11.K. H. Behrndt and R.W.Love, Vacuum, 12(1962).
12.K. H. Behrndt,J. Vac. Sci.Technol., 8(1971).
13.K. H. Behrndt,J. Vac. Sci.Technol., 10(1973).
14.C. Lu and O. Lewis, J. Appl. Phys.,43(1972).
15.R. B. Sosman, The Properties of Silica, Chemical Catalog
Co., New York, NY, (1927).
16.H. J. McSkimin, P. Andreatch, Jr., and R. N. Thurston, J.
Appl. Phys., (1965).
17.賴耿陽 譯，高周波、微波測定技術，台灣復文興業股份有限公司，民
國八十四年。
18.黎明 譯，數字式計數器的製作與使用，華聯出版社，民國七十一年。
19.豬同國夫 著，高敏雄 編譯， 97 最新74系列IC規格表，全華圖書，
民國八十六年。
20.陳本源、陳新一，數位邏輯電路實習，全華圖書，民國八十一年。
21.李齊雄、游國幹，微電腦I/O與介面實習，全欣資訊，民國八十一年。
22.王信福、高福禧，電腦I/O控制實習 Turbo C版，儒林圖書，民國八十
五年。
23.TENCOR , Ltd. “Alpha-Step 500 Surface Profilter” User
manual (1996).
24.何中庸 編譯，電子電路故障排除計數手冊，全華科技圖書，民國八十
七年。
25.彭明柳 編著，Visual Basic 5.0 中文專業版徹底研究，博碩文化，
民國八十六年。
26.楊錦潭、詹國輝 編著，Visual Basic 程式設計5.0版，松岡電腦圖
書，民國八十七年。
27.王國榮 著，Visual Basic 6.0與Windows API講座，旗標出版股份有
限公司，民國八十七年。
28.陳榮、陳華 編著，Visual Basic 5 資料庫系統建置與程式實作超級
手冊，全民一家資訊，民國八十七年。
29.溫宗正 編譯，Microsoft Visual Basic 6.0 進階程式設計實務，華
彩軟體，民國八十七年。