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本文詳述了本實驗室所發展的非球面量測系統。本系統應用雷射共焦掃描
顯微鏡之原理。其特點為非接觸式、解析度高。且雷射共焦之技術已發展
十分成熟，本系統之價格亦十分低廉，深具商品化之潛力。為了配合本系
統之高解析度，本實驗室引入雙頻雷射測距干涉儀以建構三軸移動平台。
本文亦詳述三軸移動平台之誤差量測之方法及結果。我們實際完成二維、
三維樣品外形及非球面外形之量測，證實本系統之高解析度及高穩定度的
特性。本系統已可完成上述目標，以下就簡略分析本系統之優點。１、高
雜訊容忍度：本系統用二種避免光害之雜訊處理技術（空間濾波器 , 偏
極板），使本系統可以有效地降低自然光之環境下之雜訊干 擾之問題，
使本系統具現場操作之能力２、商品化之優勢：本系統所用之元件皆為商
品化之產品，其可縮本系統之商品化之過程及時間。３、非破壞性檢測：
共焦雷射掃描顯微鏡，為利用光探針取代接觸式探針，所以不會破壞待測
物表面，可用於特殊規格樣本之檢測。本文之建議１、本系統之移動平台
皆為機械式驅動，受限於平台之精度，若將雷射干涉儀直接加入系統中為
高精度之雷射定位系統，再輔以壓電晶體，可直接增加系統之解析度，並
增快系統之實驗速度。２、系統發展過程選擇C.C.D.為影像偵測處理系統
以發展多種之影像判別系統。若改為光電倍增管，可減少影像傳輸時間，
可大幅增加系統之速度。
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