第一章 簡介 第二章 元件之工作原理 2-1 表面電位及位能井 2-2 電荷之限制 2-3 電荷之傳輸 2-4 電荷之輸入、輸出 第三章 電荷耦合元件製作 3-1 陰影蝕刻技作 3-2 光罩設計及製程 3-3 光罩討論 第四章 P-N 接面漏電流,電容電壓特性 及金氧半場效電晶電之輻射效應 4-1 P-N 接面漏電流之討論 4-2 電容電壓特性曲線討論 4-3 金氧半場效電晶體之Id-Vg 曲線討論 第五章 時脈電路及特性 5-1 電路方塊圖解說 5-2 輸入輸出電路 5-3 電路改良討論 第六章 含氮氧化矽閘極之CCD 量測結果 6-1 未打輻射前之CCD 量測 6-2 未打輻射後之CCD 量測 6-3 經退火處理及再打輻射後之CCD 量測 6-4 結論 第七章 總結 參考文獻
|