摘要 I
Abstract III
致謝 IV
目錄 VI
表目錄 IX
圖目錄 X
第一章 序論 1
1-1 氧化鋅之材料介紹 2
1.2 氧化鋅發光二極體之演變 3
1.3 氧化鋅奈米點之發展 6
1.4 研究動機 7
1.4-1 實驗方式 8
1.4-2 實驗目的 9
參考文獻 14
第二章 理論基礎 17
2-1 發光二極體之原理 17
2-1.1 二極體之介紹 17
2-1.2 發光二極體之載子注入與發光機制 18
2-2 氧化鋅量子點之原理 20
2-3 製程與量測機台之原理 23
2-3.1 濺鍍原理 23
2-3.2 雷射熱處理原理 26
2-3.3 電激發光光譜原理 28
2-3.4 穿隧式電子顯微鏡原理 30
2-3.5 穿透率量測之原理 32
參考文獻 40
第三章 製程與量測 43
3-1 製程和量測儀器介紹 43
3-2 元件製作流程 46
第四章 實驗結果與討論 56
4-1 元件之電流－電壓特性分析 56
4-1.1 施加順向偏壓之電流－電壓之特性 57
4-1.2 施加逆向偏壓之電流－電壓之特性 57
4-2 元件之電激發光特性分析 58
4-2.1 不同注入電流下元件之電激發光頻譜 58
4-2.2 相同注入下元件之電激發光頻譜 60
4-2.3 亮度－電流之特性分析 62
4-3 元件之穿隧式電子顯微鏡量測 63
4-3.1 穿隧式電子顯微鏡之量測結果 63
4-3.2 氧化鋅粒徑大小之統計 64
4-4 具奈米結構氧化鋅和二氧化矽混合層之能隙寬度分析 65
4-5 激子復合能量位移之計算 66
參考文獻 84
第五章 結論與未來展望 85
5-1 結論 85
5-2 未來展望 87
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