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臺灣博碩士論文加值系統

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研究生:洪碩廷
研究生(外文):Hong, Shuo Ting
論文名稱:次波長線性偏振片應用於光學式加速度感測器之研究
論文名稱(外文):A Study on Sub-wavelength Wire-grid Polarizer Used in Optical Approach Accelerometer
指導教授:傅建中傅建中引用關係
指導教授(外文):Chien, Chung Fu
學位類別:碩士
校院名稱:國立清華大學
系所名稱:奈米工程與微系統研究所
學門:工程學門
學類:材料工程學類
論文種類:學術論文
論文出版年:2014
畢業學年度:103
語文別:中文
論文頁數:80
中文關鍵詞:雷射干涉微影線性偏振片電子束蒸鍍出平面加速度計
外文關鍵詞:Laser interference lithographyWire-grid polarizerE-gun evaporationOut-of-plane accelerometer
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