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研究生:
洪碩廷
研究生(外文):
Hong, Shuo Ting
論文名稱:
次波長線性偏振片應用於光學式加速度感測器之研究
論文名稱(外文):
A Study on Sub-wavelength Wire-grid Polarizer Used in Optical Approach Accelerometer
指導教授:
傅建中
指導教授(外文):
Chien, Chung Fu
學位類別:
碩士
校院名稱:
國立清華大學
系所名稱:
奈米工程與微系統研究所
學門:
工程學門
學類:
材料工程學類
論文種類:
學術論文
論文出版年:
2014
畢業學年度:
103
語文別:
中文
論文頁數:
80
中文關鍵詞:
雷射干涉微影
、
線性偏振片
、
電子束蒸鍍
、
出平面加速度計
外文關鍵詞:
Laser interference lithography
、
Wire-grid polarizer
、
E-gun evaporation
、
Out-of-plane accelerometer
相關次數:
被引用:0
點閱:308
評分:
下載:0
書目收藏:0
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