臺灣博碩士論文加值系統

晶圓在製造過程中會產生物理與化學反應，為確保晶圓良率不受影響，於晶圓的生產過程中加上時間限制所訂定生產期限就稱為〝Q-Time〞。當異常事件發生時須評估災害影響範圍、機台復歸時間，若無法在Q-Time 所限制的生產期限內處理完畢，則會有批貨報廢之情形。通常異常事件發生不僅僅影響單一批貨，受到影響的範圍至少數條生產線，導致異常事件發生往往產生大量之晶圓報廢。
透過重新排程生產策略，擬定異常事件之生產排程，根據異常事件的不同所規劃之停擋貨策略、重點機台改變、機台output之改變，透過排程改變達到防守Q-Time 之目的。以事件導向模擬作動態分析透過生產排程之最高優先權者優先(Highest-Index- First ,HIF)，導入停貨機制演算規則、控制批貨流動之數量之策略。異常事件透過有效控制生產排程，使晶圓能控制在Q-Time生產期限內完成，有效降低85% 因Q-Time over 所導致的報廢。

Physical and chemical reactions may occur during the manufacturing of wafer. To guarantee the yield rate, time limits are added together with the production process to determine the duration of production, which is called Q-Time. In case of anomalous occurrence, the affected range and time for recovering machines shall be estimated; if the events are not solved within the specified duration of Q-time, the whole batch may be scrapped. Generally, the anomalous event is not only affect the single batch of product, but also several production lines may be influenced at least; therefore such events may often result in the scrap of large quantity of wafers.
By means of the production re-scheduling strategies, the production scheduling for anomalous events can be formulated. Based on different anomalous events, to prepare different strategies for suspend production, changing the chief machines and machine output to achieve the purpose of upholding Q-Time. With dynamic analysis by event-oriented simulation, it introduces the HIF (Highest-Index-First) in the production process into the mechanism of evaluating rules of suspend production and strategies of controlling the quantity of whole batch flow. Through effective control of the production based on anomalous events, wafers can be manufactured within the duration of production specified by Q-Time, which efficiently reduces the scrap caused by Q-Time over by 85%.

誌謝 Ⅰ
中文摘要 Ⅱ
ABSTRACT Ⅲ
CONTENTS Ⅳ
LIST OF FIGURES Ⅵ
LIST OF TABLES Ⅷ
Chapter 1 緒論 1
1.1 研究背景及動機 1
1.2 研究目的 3
1.3 研究範圍與限制 3
1.4 研究流程與架構 4
Chapter 2 文獻探討 5
2.1 文獻架構 5
2.2 Q-TIME SPEC及防守 6
2.3 Q-TIME管理 9
2.4 生產排程問題、規劃與模擬 12
Chapter 3 研究方法 19
3.1 模擬系統介紹 19
3.2 現況問題陳述 22
3.3 Q-Time製造生產指標 27
3.4 模擬架構之建立與說明 32
Chapter 4 生產排程模擬與驗證 36
4.1 Q-Time製造生產排程模擬 36
4.2 生產排程建構 39
4.3 最佳化生產排程驗證 43
Chapter 5 結論與建議 47
5.1 結論 46
45.2 未來研究方向與建議 47
REFERENCE 48

FROM THE INTERNET
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