臺灣博碩士論文加值系統

光罩位處於晶圓製造的上游,近年由於製程上的突飛猛進,對IC 設計公司(Design house)而言,無論是光罩(mask)或者是晶圓(wafer)進案(tape-out)的成本日趨於重,如何保障光罩資料處理的正確性,減低人為的錯誤, 以及加快 IC設計公司對 cycle time的需求,都是本論文想探討的,本論文提出針對光罩資料處理的自動化系統,來快速檢驗客戶的進案,並加快光罩資料處理的時間,減低人為錯誤的發生(MO prevention),經系統實作後,從客戶進案效率有效改善,提高資料圖形處理總產量,未來光罩資料處理系統提供更多自動化的功能,期望能更減低資料處理時間,提升光罩品質,來達到Time-to-market期望.

Mask marking is located in the upper reaches of wafer fabrication. In recent years due to technology is more and more advance. For IC Design House the cost of mask and wafer is higher than ever. How to ensure the validity of mask data processing and reduce human error, as well as to improve mask data preparation cycle time, are in this paper would like to explore l. After system design and valuate, mask tape-out productivity improve significantly. Pattern convert job can gain more throughout. In the future, mask data preparation system will provide more automation function to reduce data processing time, improve mask quality to achieve time-to-market expirations.

ABSTRACT ii
誌謝 iii
目錄 iv
圖目錄 v
表目錄 vi
第一章 緒論 1
1.1 前言 2
1.2 動機 2
1.3 研究目標 3
1.4 論文大綱 3
第二章 研究內容與方法 4
2.1 光罩 4
2.2 光罩製造簡介 6
2.3 光罩進案 7
2.4 光罩資料轉檔 11
2.5 光罩後段製作 12
3.系統設計與實作 15
3.1 系統環境與架構 15
3.2 光罩資料輸入 17
3.3 光罩佈局 20
3.4 光罩轉檔 22
3.5 工作分派 26
4.系統結果與分析 30
4.1 光罩進案分析 30
4.2 工作轉檔分析 32
5.結論與未來研究方向 33
5.1 結論 33
5.2 未來工作方向 33
6.參考文獻 34

[1] 科技臺灣,光罩的製作
http://www.hightech.url.tw/index.php/2012-06-06-14-12-38/18-integrated-circuits/61-mask-manufacture
[2] 科技臺灣, 積體電路的製作流程http://www.hightech.tw/index.php/2012-06-06-14-12-38/18-integrated-circuits/51-integrated-circuits-manufacture-process
[3] 莊達人，基礎IC技術，第二版，全威圖書有限公司，臺北市，2009。
[4] 莊達人，VLSI製程技術，新科技書局，1996.
[5] 交大微奈米中心，光罩製作流程http://www.nfc.nctu.edu.tw/mechine_new/notice/C_Laser_notice.pdf
[6] 成大微奈米中心，光罩圖檔設計規範(V1.0) http://http://140.116.176.21/www/technique/SOP/光罩圖檔設計規範(V1.0).pdf
[7] “Developing J2EE Server Applications” http://docs.oracle.com/cd/E13222_01/wls/docs81/programming/concepts.html
[8] “JavaServer Pages Technology”
http://java.sun.com/products/jsp/
[9] “The SQL standard”
http://www.jcc.com/SQLPages/jccs_sql.htm.
[10] “JDBC API”
http://java.sun.com/products/jdk/1.2/docs/guide/jdbc/
[11] “JDBC Drivers”
http://java.sun.com/products/jdbc/jdbc.drivers.html.
[12] “Java Applet”,Oracle, http://www.oracle.com/technetwork/java/applets-137637.html
[13] Oracle 11g, Oracle,
http://www.oracle.com/technetwork/database/index.html